전동유동코팅건조기
리튬이차전지용으로 코팅용 용액을 투입하여 원재료를 코팅하는 방식인 것으로서 다음 각 호의 요건을 모두 충족하는 것일 것
1. 급기(給氣) 온도가 60도(℃)부터 80도까지일 것
2. 급기 풍량이 분당 0.2세제곱미터(㎥)부터 1.0세제곱미터까지일 것
관 압연기(Tube Mills), 공압확관기(Air Pressure Expander)
다음 각 호의 어느 하나에 해당하는 것으로 한정한다.
1. 0.2밀리미터(㎜) 이하의 압연판재를 튜브(Tube) 형상으로 가공할 수 있는 것
2. 30메가파스칼(㎫) 이하의 고압 공기로 바깥지름이 9.52밀리미터 이하의 관(Tube) 내부 형상을 가공할 수 있는 것
8456-11
레이저 가공장치 또는 레이저 마커(Laser Marker)
가공점 위치의 오차 범위가 ±3마이크로미터(㎛) 이하인 것
이온빔 장치(Ion Beam System)[집속(集束) 이온빔 장치를 포함한다], 이온밀링장치(Ion Milling System)(이온빔 식각장치를 포함한다)
다음 각 호의 어느 하나에 해당하는 것으로 한정한다.
1. 이온빔(Ion Beam) 또는 전자빔(Electron Beam)을 이용하여 반도체웨이퍼 또는 시편(試片)을 가공할 수 있는 것
2. 투과전자현미경(Transmission Electron Microscope) 또는 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)을 이용하여 제품의 불량 여부를 분석하거나, 분석을 위한 박편(薄片) 및 단면시료(試料)의 제작이 가능한 것
3. 플라스마 이온빔(Plasma Ion Beam)을 시편(試片)에 직접 조사(照射)하여 전하를 띠게 하는 것
4. 가속전압이 1킬로볼트(㎸) 이상 40킬로볼트 이하인 아르곤(Ar) 또는 갈륨(Ga) 이온총(Ion Gun)을 장착한 것
레이저발진기
레이저 파장이 1,340나노미터(㎚) 이하인 것
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