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통합공고 [별표11 폐기물부담금 납부대상물품]

HSK			품 명
8486	20	6020	스텝 앤 리피트 얼라이너
		9200	포토레지스트를 도포·현상·경화시키는 기계
		9310	반도체 웨이퍼가공용의 연마기·광택기(래핑기를 포함한다)
		5000	굽힘용·접음용·교정용·펼침용 금속가공 공작기계(프레스를 포함한다)
		8100	레이저나 그 밖의 광선·광자빔 방식에 의한 것
		9400	웨이퍼·캐리어·튜브를 세척하는 기계
		9500	반도체웨이퍼 위에 테이프를 부착시키는 기계
		6010	반도체웨이퍼 위에 직접 그리는 기기
		9390	기타
	40	1010	패턴형성기(주로 사진 감광액이 도포된 감광판으로부터 마스크와 레티클을 제조하기 위해 사용되는 것)
		1020	마스크와 레티클을 처리·수리하기 위한 포커스드 이온빔 밀링기
	20	7000	반도체 웨이퍼를 습식 식각, 현상, 스트리핑하거나 세척하는 기계
		9900	기타
	40	2010	반도체 조립용의 다이 부착기, 테이프자동접착기·와이어접착기
		2020	반도체 디바이스를 삽입·제거시키는 기계
	20	9320	반도체 웨이퍼의 스크라이빙·스코어링을 위한 다이싱기
	40	1090	기타
		2040	납볼을 반도체 제조용 인쇄회로기판이나 세라믹기판에 탑재하는 기계
		2050	웨이퍼를 세라믹판에 부착·분리하는 기계
	20	9600	반도체웨이퍼를 개별 칩으로 절단하는 기기
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2. 폐기물부담금 납부대상 제품·재료·용기를 수입하는 자는 자원재활용법시행령 제12조의 규정에 의하여 전년도 제품·재료·용기의 수입 실적에 관한 자료를 매년 3월 31일까지 한국환경공단에 제출하여야 한다.