³» ¿ë |
[ÁÖ¹®] °ú¼¼ÀüÀûºÎ½É»çû±¸¸¦ äÅÃÇÏÁö ¾Æ´ÏÇÑ´Ù. [ÀÌÀ¯] 1. û±¸°æÀ§ °¡. û±¸ÀÎÀº 2004.**.**. ÀïÁ¡¹°Ç°À» "¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¶Ç´Â ·¹Æ¼Å¬ÀÇ Ãë±Þ°ú À̼ۿëÀ¸·Î Ưº°È÷ °í¾ÈµÈ ÀåÄ¡°¡ ºÎÂøµÈ ÀÏ·ºÆ®·Ð ºö Çö¹Ì°æ"À¸·Î º¸¾Æ HSK 9012.10-1010(¾çÇã 0%)¿¡ ºÐ·ùÇÏ¿© ÅëÁö¼¼°üÀ» ÅëÇØ ¼öÀÔÅë°üÇÏ¿´´Ù. ³ª. ±×·¯´ø Áß °ü¼¼Ã»Àå(°¨»ç´ã´ç°ü½Ç)Àº ÅëÁö¼¼°ü¿¡ ´ëÇÑ ÇàÁ¤°¨»ç ÈÄ ÀïÁ¡¹°Ç°À» "±âŸÀÇ Çö¹Ì°æ"À¸·Î º¸¾Æ HSK 9012.10-1090(±âº» 8%)¿¡ ºÐ·ùÇÏ¿©¾ß ÇÔÀ» ÁöÀûÇϰí, 2005.**.**. Â÷¾×°ü¼¼¸¦ ¡¼öÇÒ °ÍÀ» Áö¼¼°üÀå¿¡°Ô ½ÃÁ¤¿ä±¸ÇÏ¿´´Ù. ´Ù. ÅëÁö¼¼°üÀåÀº 2005.**.**. °¨»çÁöÀû»çÇ׿¡ µû¶ó ÀïÁ¡¹°Ç°À» ÁöÀû»çÇ×´ë·Î ºÐ·ùÇÏ¿© û±¸Àο¡°Ô ¼¼À² Â÷ÀÌ¿¡ ÀÇÇÑ ºÎÁ· ¡¼ö °ü¼¼ µî 82,083,500¿øÀ» °æÁ¤¡¤°íÁöÇÒ ¿¹Á¤ÀÓÀ» °ú¼¼ÀüÅëÁöÇÏ¿´´Ù. ¶ó. û±¸ÀÎÀº ÀÌ¿¡ ºÒº¹ÇÏ¿© 2005.**.**. ÀÌ »ç°Ç °ú¼¼ÀüÀûºÎ½É»çû±¸¸¦ Á¦±âÇÏ¿´´Ù.
2. û±¸ÀÎÁÖÀå ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ ±¸¼º¿ä¼Ò´Â Main FIB º»Ã¼¿¡ SEM ColumnÀÌ ÇϳªÀÇ ±â°è·Î °áÇյǾî Àִµ¥, FIB Main¿¡ 2Â÷ °ËÃâ±â(SE Detector)°¡ ÀÖÀ¸¹Ç·Î Electron BeamÀ» ¹æÃâÇÏ´Â FIB Column¸¸ À־ SEM Imaging±â´ÉÀ» ¼öÇàÇÑ´Ù. Áï, Single FIB Spec¿¡ SEM Column¸¸ °áÇÕÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖ°í, Áß·®´ëºñ·Î º¸´õ¶óµµ FIB:SEMÀº 10:1Á¤µµÀ̸ç, ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ ´Ü°¡¿ä¼Ò¸¦ º¸´õ¶óµµ Àüü ½Ã½ºÅÛÀÇ °¡°Ý¿¡¼ SEM ColumnÀº 20%ÀÇ Á¤µµÀÇ ¼öÁعۿ¡ µÇÁö ¾Ê´Â´Ù. µû¶ó¼ ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ÇϳªÀÇ ±â°è·Î °áÇյǾî ÀÖ´Â º¹ÇÕ±â°è·Î °ü¼¼¹ý Á¦16Á¶ÀÇ ±ÔÁ¤°ú °ü¼¼À²Ç¥Çؼ®¿¡°üÇÑÅëÄ¢1 ¹× ÅëÄ¢3ÀÇ ³ª(ÁÖ ±â´É¿¡ ÀÇÇÑ ºÐ·ù)¿¡ ÀÇÇØ °¡´ÉÇÑ ÇÑ ¹°Ç°ÀÇ º»ÁúÀûÀΠƯ¼ºÀ» ºÎ¿©ÇÏ´Â Àç·á ¹× ±¸¼º¿ä¼Ò·Î ±¸¼ºµÈ °ÍÀ¸·Î Ãë±ÞÇÏ¿© ǰ¸ñºÐ·ùÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù. ÀÌ·Î º¼ ¶§, ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ ÁÖ ±â´É, »ç¿ëºóµµ, ±¸Á¶¿Í ºñ±³´Ü°¡ µîÀ» Á¾ÇÕÇÏ¿© ÆÇ´ÜÇϸé ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ ÁÖ ±â´ÉÀº FIB·Î º¸¾Æ¾ß ÇϹǷΠHSK 8456.99-1000¿¡ ºÐ·ùÇÏ´Â °ÍÀÌ Å¸´çÇÏ´Ù. ±×·¯³ª, ÅëÁö¼¼°üÀåÀº ÀïÁ¡¹°Ç°°ú °°ÀÌ SEMÀÇ ÀåÁ¡À» º¸¿ÏÀûÀ¸·Î Ȱ¿ëÇϱâ À§ÇÏ¿© ÇϳªÀÇ ±â°è·Î °áÇÕÇÑ º¹ÇÕ±â°è¿¡ ´ëÇØ ÁÖ ±â´ÉÀ» °áÁ¤ÇÒ ¼ö ¾ø´Ù°í º¸¼öÀûÀ¸·Î ÇØ¼®ÇÏ¿© ÅëÄ¢3 ´Ù(ÃÖÁ¾È£ ºÐ·ù¿øÄ¢)¸¦ Àû¿ëÇÏ¿´´Â ¹Ù, ÀÌ´Â ÀïÁ¡¹°Ç°À» ½ÇÁ¦ »ç¿ëÇϴ û±¸ÀÎÀÇ ÀÔÀå¿¡¼´Â ÀÌÇØÇϱâ Èûµç °áÁ¤ÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ÅëÁö¼¼°üÀåÀÇ Àǰ߿¡ µû¶ó ÃÖÁ¾È£ ºÐ·ù±âÁØÀÎ ÅëÄ¢3 ºÐ·ù±âÁØÀ» Àû¿ëÇÏ´õ¶óµµ FIB ±â´É Áß Detect Analysis ±â´Éµµ ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ ÁÖ¿ä ±â´ÉÀÇ ÇϳªÀÎ ¹Ù, "±âŸ ±¤ÇнÄÀÇ ±â±â"°¡ ºÐ·ùµÇ´Â HSK 9031.41-9000(¾çÇã 0%)µµ ǰ¸ñºÐ·ù °í·Á´ë»óÀÌ µÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù.
3. ÅëÁö¼¼°üÀå ÀÇ°ß ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÎ FIB(Focused Ion Beam) Dual Beam NOVA200Àº FIB/SEM (Scanning Electron Microscope) ±â´ÉÀ» º¹ÇÕÀûÀ¸·Î ¼öÇàÇÏ´Â Àåºñ·Î¼ HS 8456È£(°øÀÛ±â°è)¿Í HS 9012È£(±âŸ Çö¹Ì°æ)ÀÇ µÎ ±â´ÉÀÌ º¹ÇÕµÈ ±â±âÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ 2°¡Áö ±â´ÉÀ» °¡Áø Àåºñ¿¡ ´ëÇÏ¿© ±× ÁÖ ±â´ÉÀ» ÆÇ´ÜÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù¸é ÁÖ ±â´É¿¡ µû¸¥ ºÐ·ù¸¦ ÇØ¾ß ÇÒ °ÍÀ̰í, ÆÇ´ÜÇÒ ¼ö ¾ø´Ù¸é ÅëÄ¢3 ¡®´Ù¡¯ÀÇ ÃÖÁ¾È£ÀÇ ºÐ·ù¿øÄ¢À» Àû¿ëÇØ¾ß ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ºÒ·®ºÐ¼®, Circuit Repair, Modification ¹× CharacterizationÀ» ¸ñÀûÀ¸·Î Milling, Cutting µî Cross-Section ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇÔÀ¸·Î½á ±Ã±ØÀûÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛÀÇ Æ¯¼ººÐ¼®, ÃøÁ¤ ¹× Á¤È®¼ºÀ» È®ÀΡ¤ÆÇº°ÇÏ´Â ±â±âÀÌ´Ù. ÀÌ ¹°Ç°¿¡¼ SEM(ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ)Àº ÀüÀÚºöÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ³ôÀº ÇØ»óµµ·Î ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛÀÇ ¹Ì¼¼±¸Á¶¸¦ Çü»óÈÇÏ¿© ¹Ì¼¼ÇÑ ¿µ¿ªÀ» º¸´Â °ÍÀÌ °¡´ÉÇϵµ·Ï ÇØ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Æ¯Â¡À» ºÐ¼®¡¤ÃøÁ¤Çϰí ÀÌ·¯ÇÑ ÃøÁ¤°ú °üÂû, °áÇÔÀÇ ÆÄ¾Ç µîÀ¸·Î Á¦Á¶°øÁ¤ÀÇ Á¤È®¼ºÀ» È®ÀÎÇØ ÁÖ´Â ±â´ÉÀ» ÇÑ´Ù. ¿©±â¿¡¼ ½Ã·áÀÇ ½Ä°¢, Á¶Çü, °¡°ø µîÀÇ ¿©ºÎ ¹× Á¤µµ´Â SEMÀ» ÅëÇÏ¿© È®ÀÎµÇ¾î ½Ã·áÀÇ Á¤È®¼º ¿©ºÎ°¡ ÆÇº°µÇ¹Ç·Î ÀïÁ¡¹°Ç°¿¡¼ SEMÀº °¡°øÀÇ ÇʼöºÒ°¡°áÇÑ ¿ä¼Ò·Î¼ û±¸ÀÎÀÇ ÁÖÀå´ë·Î ´Ü¼øÈ÷ °¡°øÀÇ Á¤µµ¸¦ È®ÀÎÇØ Áֱ⸸ ÇÏ´Â FIBÀÇ º¸Á¶±â´É¸¸À» ¼öÇàÇÑ´Ù°í º¸±â ¾î·Æ°í ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ Áß¿ä ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇÑ´Ù ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. Áï, HS 8456È£¿¡ ºÐ·ùµÇ´Â FIB±â´É°ú HS 9012È£¿¡ ºÐ·ùµÇ´Â SEM±â´ÉÀÌ ÇÔ²² ¼öÇàµÇ°í µÎ ±â´ÉÀÇ °æÁßÀ» µûÁö±â ¾î·Á¿ì¹Ç·Î ÅëÄ¢3 ´Ù(ÃÖÁ¾È£ ºÐ·ù¿øÄ¢)¿¡ ÀÇÇÏ¿© ºÐ·ùÇÏ¿©¾ß ÇÏ´Â °ÍÀÌ Å¸´çÇϹǷΠHS 9012.10¼ÒÈ£·Î ºÐ·ùµÇ¸ç, ¿þÀÌÆÛ ¶Ç´Â ·¹Æ¼Å¬ÀÇ Ãë±Þ°ú À̼ۿëÀ¸·Î Ưº°È÷ °í¾ÈµÈ ÀåÄ¡°¡ ºÎÂøµÇÁö ¾Ê¾ÒÀ¸¹Ç·Î HSK 9012.10-1090¿¡ ºÐ·ùµÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ Ç°¸ñºÐ·ù¸¦ ÇÔ¿¡ ÀÖ¾î ºÐ¸®ÇÒ ¼ö ¾ø´Â ±â±âÀÇ ÀϺθ¸À» º°µµ·Î º¸¾Æ ±× ±â´ÉÀ» ÆÇ´ÜÇÏ´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¶ó, Àüü¹°Ç°À» ´ë»óÀ¸·Î ÁÖ ±â´ÉÀ» ÆÇ´ÜÇÏ¿©¾ß Çϴ¹Ù, ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ FIB±â´É°ú ´õºÒ¾î Single Beam FIB¿¡´Â ¾ø´Â SEM±â´ÉÀ» ¼öÇàÇϹǷΠ±× ±â´ÉÀÇ °æÁßÀ» µûÁú ¼ö ¾ø¾î º»ÁúÀûÀΠƯ¼ºÀ» ÆÇ´ÜÇÏ¿© ǰ¸ñºÐ·ùÇÒ ¼ö ¾øÀ¸¹Ç·Î ÃÖÁ¾È£ ºÐ·ù¿øÄ¢À» Àû¿ëÇÔÀÌ Å¸´çÇÏ´Ù.
4. ÀïÁ¡ ÀÌ »ç°Ç ÀïÁ¡Àº ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ ÁÖ ±â´ÉÀ» FIB¿¡ ÀÖ´Ù°í º¸¾Æ HSK 8456.99-1000(¾çÇã 0%)¿¡ ºÐ·ùÇÒ °ÍÀÎÁö, ¾Æ´Ï¸é FIB¿Í SEM µÎ ±â´É Áß ¾î´À ±â´ÉÀ» ÁÖ ±â´ÉÀ¸·Î º¸±â ¾î·Á¿î °ÍÀ¸·Î º¸¾Æ ÈļøÀ§ ¼¼¹øÀÎ HSK 9012.10-1090(±âº» 8%)¿¡ ºÐ·ùÇÒ °ÍÀÎÁö ¿©ºÎ¸¦ °¡¸®´Â µ¥ ÀÖ´Ù.
5. ½É¸® ¹× ÆÇ´Ü °¡. °ü·Ã±ÔÁ¤ 1) °ü¼¼À²Ç¥Çؼ®¿¡°üÇÑÅëÄ¢3 - ÀÌ ÅëÄ¢ Á¦2È£ÀÇ ³ª ¶Ç´Â ±âŸ ´Ù¸¥ ÀÌÀ¯·Î µ¿ÀÏÇÑ ¹°Ç°ÀÌ µÑÀÌ»óÀÇ È£¿¡ ºÐ·ùµÇ´Â °ÍÀ¸·Î º¼ ¼ö ÀÖ´Â °æ¿ìÀÇ Ç°¸ñºÐ·ù´Â ´ÙÀ½¿¡ ±ÔÁ¤ÇÏ´Â ¹Ù¿¡ µû¸¥´Ù. °¡. "±âÀç »ý·«" ³ª. È¥ÇÕ¹°, ¼·Î ´Ù¸¥ Àç·á·Î ±¸¼ºµÇ°Å³ª ¼·Î ´Ù¸¥ ±¸¼º¿ä¼Ò·Î Á¦Á¶µÈ º¹ÇÕ¹°°ú ¼Ò¸Å¿ëÀ¸·Î Çϱâ À§ÇÏ¿© ¼¼Æ®·Î µÈ ¹°Ç°À¸·Î¼ °¡ÀÇ ±ÔÁ¤¿¡ µû¶ó ºÐ·ùÇÒ ¼ö ¾ø´Â °ÍÀº °¡´ÉÇÑ ÇÑ ÀÌµé ¹°Ç°¿¡ º»ÁúÀûÀΠƯ¼ºÀ» ºÎ¿©ÇÏ´Â Àç·á ¶Ç´Â ±¸¼º¿ä¼Ò·Î ±¸¼ºµÈ °ÍÀ¸·Î Ãë±ÞÇÏ¿© ºÐ·ùÇÑ´Ù ´Ù. °¡ ¶Ç´Â ³ªÀÇ ±ÔÁ¤¿¡ µû¶ó ºÐ·ùÇÒ ¼ö ¾ø´Â ¹°Ç°Àº µ¿ÀÏÇÏ°Ô ºÐ·ù°¡ °¡´ÉÇÑ È£ Áß¿¡¼ ±× ¼ø¼»ó ÃÖÁ¾È£¿¡ ºÐ·ùÇÑ´Ù
2) °ü¼¼À²Ç¥Çؼ³¼ Á¦8456È£(ÇØ¼³¼ 1541ÂÊ) - ÀÌ È£ÀÇ °øÀÛ±â°è´Â °¢Á¾Àç·áÀÇ ¼ºÇü ¶Ç´Â Ç¥¸é°¡°ø¿ëÀÇ ±â°èÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °øÀÛ±â°è´Â ´ÙÀ½°ú °°Àº 3°¡Áö ÁÖ¿ä ¿ä°ÇÀ» °®Ãß¾îÁ®¾ß¸¸ ÇÑ´Ù. (¥¡) ÀÌ·¯ÇÑ °øÀÛ±â°è´Â Àç·á¸¦ Á¦°ÅÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î °¡°øÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù (¥¢) ÀÌ·¯ÇÑ °øÀÛ±â°è´Â ¾àÁ¤µÈ °ø±¸¸¦ °®Ãá °øÀÛ±â°è¿¡ ÀÇÇÏ¿© ÀÌ·ç¾îÁö´Â ÀÛ¾÷À» ¼öÇàÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù. (¥£) ÀÌ·¯ÇÑ °øÀÛ±â°è´Â ´ÙÀ½ÀÇ 7°¡Áö °øÁ¤ÁßÀÇ Çϳª¸¦ »ç¿ëÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù : ·¹ÀÌÀú ¶Ç´Â ±âŸ±¤¼±°ú ±¤ÀÚºö¡¤ÃÊÀ½ÆÄ¡¤¹æÀü¡¤Àü±âÈÇС¤ÀüÀÚºö ¶Ç´Â ÇÁ¶ó½º¸¶¾ÆÅ©¹æ½Ä (F) À̿ºö ¹æ½Ä¿¡ ÀÇÇÏ¿© °¡°øÇÏ´Â °øÀÛ±â°è : ÀÌ·¯ÇÑ °øÀÛ±â°èÀÇ ºöÀº ·¹ÀÌÀú ºöÀÇ °æ¿ì¿¡¼¿Í °°ÀÌ impulse¿¡ ÀÇÇÑ °ÍÀÌ ¾Æ´Ï°í ¿¬¼Óµ¿ÀÛ¿¡ ÀÇÇÏ¿© ÀÛ¾÷À» ÇÑ´Ù 3) °ü¼¼À²Ç¥Çؼ³¼ Á¦9012È£(ÇØ¼³¼ 1790~1791ÂÊ) - ÀÌ È£¿¡´Â ´ÙÀ½ÀÇ °ÍÀ» Æ÷ÇÔÇÑ´Ù (A) ÀüÀÚÇö¹Ì°æ : ±¤¼±´ë½Å¿¡ ÀüÀÚÀÇ ºñÀÓ(beam)ÀÌ »ç¿ëµÇ´Â Á¡¿¡¼ ±¤ÇÐÇö¹Ì°æ°ú´Â ´Ù¸£´Ù. ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀÇ Ç¥ÁØÇüÀº ´ÙÀ½ÀÇ ÀåÄ¡°¡ ÀÏü·Î¼ µ¿ÀÏÇÁ·¹ÀÓ¿¡ ³»ÀåµÇ¾î Á¶¸³µÈ °ÍÀÌ´Ù (1) ÀüÀÚ¸¦ ¹æÃâÇÏ°í °¡¼ÓÇÏ´Â ÀåÄ¡(ÀüÀÚÃÑÀ¸·Î ºÒ¸®¿î´Ù) (2) Á¤Àü½Ä ¶Ç´Â ÀüÀÚ½ÄÀÇ "·»Áî"(Àü·ù¸¦ À̼ÛÇÏ´Â ´ëÀüÆÇ ¶Ç´Â ÄÚÀÏ)·Î ±¸¼ºµÇ´Â ÀåÄ¡(º¸Åë Çö¹Ì°æÀÇ ±¤ÇÐÀåÄ¡ºÎºÐǰÀ» ÀÛµ¿ÇÏ´Â °Í), À̵éÀº Áý±¤±â¡¤´ë¹°°æ ¹× Åõ¿µ±â·Î¼ ÀÛ¿ëÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ ´ë¹°°æ°ú Åõ¿µ±â »çÀÌ¿¡ ¼ÒÀ§ Field "·»Áî"¶ó°í ºÎ¸£´Â °ÍÀÌ Çϳª ´õ ÀÖÀ¸¸ç, À̰ÍÀº ÁÖ»çµÇ´Â ´ë¹°ÀÇ À§Ä¡¸¦ º¯°æ½ÃŰÁö ¾Ê°í È®´ëÇѵµ°¡ º¯ÈµÇµµ·Ï ÇØ ÁØ´Ù (3) ½Ã·áÀç¹°´ë (4) ÀüÀÚ°ü³»¿¡ Áø°øÀ» À¯Áö½ÃŰ´Â Áø°øÆßÇÁ : À̰ÍÀº ¶§¶§·Î ±â±â¿¡ ¿¬°á½ÃŰ´Â À¯´ÏÆ®°¡ ÀÚÀåµÇ¾î ÀÖ´Ù (5) »óÀ» Çü±¤½ºÅ©¸°¿¡ ¹Ý¿µ½ÃÄÑ À°¾ÈÀ¸·Î °üÃø ¹× »çÁøÀ¸·Î ±â·ÏÇϱâ À§ÇÑ ±â±¸ ÀÌ È£¿¡´Â ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ(SEM)µµ Æ÷ÇԵǴµ¥ À̰ÍÀº ¸Å¿ì Á¤±³ÇÑ ÀüÀÚÀÇ ºñÀÓÀÌ ¹Ýº¹ÀûÀ¸·Î ½Ã·áÀÇ ¿©·¯ ÁöÁ¡¿¡ Á÷»çµÈ´Ù. Á¤º¸´Â ¿¹¸¦µé¸é Àü¼ÛµÈ ÀüÀÚ, ¹æÃâµÈ º¸Á¶ÀüÀÚ ¶Ç´Â ±¤Çм±¿¡ ÀÇÇÑ °èÃøÀ¸·Î ¾ò´Â´Ù. ±× °á°ú°¡ ¸ð´ÏÅÍ ½ºÅ©¸°»ó¿¡ ³ªÅ¸³ª°Ô µÇ´Âµ¥ ¸ð´ÏÅÍ ½ºÅ©¸°Àº Çö¹Ì°æ°ú °áÇÕµÉ ¼ö ÀÖ´Ù
2) »ç½Ç°ü°è ÀïÁ¡¹°Ç°Àº Main FIB º»Ã¼¿¡ SEM ColumnÀÌ °áÇÕµÈ ÇüÅ·ΠIon BeamÀ» ¿þÀÌÆÛ ¶Ç´Â ¼ÒÀÚÀÇ È¸·ÎºÎºÐ¿¡ ¾àÇÏ°Ô Á¶»çÇϸé 2Â÷ ÀüÀÚ ÀÌ¿ÂÀÌ ¹ß»ýÇÏ´Â µ¥ À̸¦ detector·Î °ËÃâÇÏ¿© image¸¦ ÄÄÇ»ÅÍ ¸ð´ÏÅÍ·Î °üÂûÇÒ ÀÖ´Â Imaging±â´É°ú ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¹× ¼ÒÀÚ»ó¿¡ Àִ ȸ·Î¸¦ À̿ºöÀ» Á¶»çÇÏ¿© Çö¹Ì°æÀ¸·Î Çü»óÈÇÏ¿© ¸ð´ÏÅÍ·Î °üÂûÇÏ¸é¼ ºÒ·®ºÎºÐ¿¡ ´ëÇÏ¿© milling(±ð±â), cutting(ÀÚ¸£±â), deposition(ºÙÀÓ) µîÀÇ ÀÛ¾÷À» ÅëÇÏ¿© ¼öÁ¤ÇÏ´Â FIBÀÇ ±âº»±â´É¿¡, SEM ColumnÀ» ºÎÂøÇÏ¿© ³ôÀº ÇØ»óµµ·Î ȸ·Î¸¦ °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â´ÉÀÌ Ãß°¡µÈ °ÍÀÓÀÌ È®ÀεȴÙ.
3) ÆÇ´Ü û±¸ÀÎÀº ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ º»ÁúÀûÀÎ ±â´ÉÀÌ FIB¿¡ ÀÖ´Ù°í ÁÖÀåÇϰí, óºÐû¿¡¼´Â ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÌ FIB(Focused Ion Beam)ÀÇ ±â´É°ú SEM±â´ÉÀ» ÇÔ²² ¼öÇàÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï °í¾ÈµÈ Àåºñ·Î¼ µÎ°¡Áö ±â´ÉÁß ¾î´À Çϳª¿¡ º»ÁúÀûÀΠƯ¼ºÀÌ ÀÖ´Ù°í º¸±â ¾î·Á¿ì¹Ç·Î HS 9012È£¿¡ ºÐ·ùµÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù°í ÁÖÀåÇÏ´Â ¹Ù, ÀÌ°Ç Ç°¸ñºÐ·ù´Â ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ ÁÖ±â´ÉÀÌ ¾îµð¿¡ ÀÖ´ÂÁö¸¦ ÆÇ´ÜÇÏ¿©¾ß ÇϹǷΠÀÌ¿¡ ´ëÇÏ¿© »ìÆìº¸µµ·Ï ÇÑ´Ù.
ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ º»ÁúÀûÀΠƯ¼ºÀ» ÆÇ´ÜÇÔ¿¡ ÀÖ¾î °¡°Ý, Áß·® µî°ú °°Àº Á¤·®ÀûÀÎ ¿ä¼Òº¸´Ù´Â ¼ºÁú, ±â´É, ¿ªÇÒ µîÀ» °í·ÁÇÏ¿©¾ß ÇÒ °ÍÀ̰í, °¡°ÝÀº ÇϳªÀÇ °í·Á¿ä¼Ò´Â µÉ ¼ö ÀÖÀ¸³ª Àý´ëÀûÀÎ ÆÇ´Ü±âÁØÀº µÉ ¼ö ¾øÀ¸¸ç, Á¦Á¶¾÷ü FEIÀÇ °ßÀû¼¸¦ º¸¸é, ÀïÁ¡¹°Ç°Àº SEM±â´É°ú FIB±â´ÉÀÌ ÇÑ °³ÀÇ µµ±¸(Single tool)·Î È¥ÇյǾî ÀÖ´Â ±â±â·Î ÇϳªÀÇ ¿î¿µ½Ã½ºÅÛ°ú ÄÄÇ»ÅÍ ±×·¡ÇÈ ÀÎÅÍÆäÀ̽º¸¦ °®Ãß°í ÀÖÀ¸¸ç °íǰÁúÀÇ 3D ºÐ¼®ÀڷḦ Àü´ÞÇϰíÀÚ ¼³°èµÈ ¼öÆÛ ºÐ¼®µµ±¸·Î »ç¿ëµÇ°í ÀÖÀ½ÀÌ È®ÀεȴÙ. ¶ÇÇÑ ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ ¿ëµµ°¡ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ °¡°ø, ¼öÁ¤ÀÌ ÁÖ¸¦ ÀÌ·ç´Â °øÀå¿ëÀÌ ¾Æ´Ï¶ó, ºÐ¼®, °Ë»ç¿¡ ºñÁßÀ» µÎ´Â ¿¬±¸½Ç¿ëÀ¸·Î Á¦ÀÛµÈ °ÍÀÓÀ» º¼ ¶§, SEMÀº ´Ü¼øÇÑ º¸Á¶±â´ÉÀ¸·Î º¼ ¼ö ¾øÀ½ÀÌ ÀÎÁ¤µÈ´Ù. ´õ±¸³ª SEM ColumnÀº ´Üµ¶À¸·Î SEM ImagingÀ» ÇÒ ¼ö ¾ø°í º»Ã¼¿¡ ÀÌ ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇÏ´Â µ¥ ÇÊ¿äÇÑ SE Detector µîÀÌ °áÇյǾî ÇÔ²² SEM±â´ÉÀ» ¼öÇàÇÔÀ» º¼ ¶§, ±â±âÀÇ ÀϺθ¸À» ºÐ¸®ÇÏ´Â °Íº¸´Ù Àüü¹°Ç°À» ´ë»óÀ¸·Î ÁÖ ±â´ÉÀ» ÆÇ´ÜÇÏ¿©¾ß ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. µû¶ó¼ ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¶Ç´Â ¼ÒÀÚ »ó¿¡ Àִ ȸ·Î¸¦ Çö¹Ì°æÀ¸·Î Çü»óÈÇÏ¿© ¸ð´ÏÅÍ·Î °üÂûÇÏ¸é¼ ºÒ·®ºÎºÐ¿¡ ´ëÇÏ¿© milling(±ð±â), cutting(ÀÚ¸£±â), deposition(ºÙÀÓ) µîÀÇ ÀÛ¾÷À» ÅëÇÏ¿© ¼öÁ¤ÇÏ´Â FIB(Focused Ion Beam)ÀÇ ±â´É°ú ÀüÀÚºöÀ» ¿þÀÌÆÛÀÇ È¸·ÎºÎºÐ¿¡ Á¶»çÇÏ¿© 2Â÷ ÀüÀÚ ÀÌ¿ÂÀÌ ¹ß»ýÇÏ´Â µ¥ À̸¦ detector·Î °ËÃâÇÏ¿© image¸¦ ³ôÀº ÇØ»óµµ·Î ȸ·ÎºÎºÐÀ» °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖ´Â SEM±â´ÉÀ» ÇÔ²² ¼öÇà ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï °í¾ÈµÈ ÀåºñÀÓÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
°ü¼¼À²Ç¥ Á¦8456È£´Â °¢Á¾ Àç·áÀÇ °¡°ø°øÀÛ±â°è(·¹ÀÌÀú ¶Ç´Â ±âŸ±¤¼±¡¤±¤ÀÚºö¡¤ÃÊÀ½ÆÄ¡¤¹æÀü¡¤Àü±âÈÇС¤ÀüÀÚºö¡¤À̿ºö¡¤Çö󽺸¶¾ÆÅ©¹æ½Ä¿¡ ÀÇÇÏ¿© Àç·áÀÇ ÀϺθ¦ Á¦°ÅÇÏ¿© °¡°øÇÏ´Â °Í¿¡ ÇÑÇÑ´Ù)°¡ ºÐ·ùµÇ¸ç, Á¦9012È£´Â ÀüÀÚºöÀ» »ç¿ëÇÏ´Â ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀÌ ºÐ·ùµÇ°í ÀÖ´Â ¹Ù, ÀïÁ¡¹°Ç°Àº HS 8456È£¿¡ ºÐ·ùµÇ´Â FIB(Focused Ion Beam)ÀÇ ±â´É°ú HS 9012È£¿¡ ºÐ·ùµÇ´Â SEM±â´ÉÀ» ÇÔ²² ¼öÇà ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï °í¾ÈµÈ Àåºñ·Î¼ FIB±â´É°ú SEM±â´É Áß ¾î´À Çϳª¿¡ º»ÁúÀûÀΠƯ¼ºÀÌ ÀÖ´Ù°í º¸±â ¾î·Á¿ì¹Ç·Î ÅëÄ¢3 ´ÙÀÇ ±ÔÁ¤¿¡ ÀǰŠHS 9012È£¿¡ ºÐ·ùÇϵÇ, ¼¼ºÐ·ù¿¡ ÀÖ¾î ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¶Ç´Â ·¹Æ¼Å¬ÀÇ Ãë±Þ°ú À̼ۿëÀ¸·Î Ưº°È÷ °í¾ÈµÈ ÀåÄ¡°¡ ºÎÂøµÇ¾î ÀÖÁö ¾ÊÀ¸¹Ç·Î HSK 9012.10-1090¿¡ ºÐ·ùÇÔÀÌ Å¸´çÇÑ °ÍÀ¸·Î ÆÇ´ÜµÈ´Ù.
6. °á·Ð ±×·¸´Ù¸é, û±¸ÀÎÀÇ ÁÖÀå¿¡ ÀÌÀ¯°¡ ¾øÀ¸¹Ç·Î °ú¼¼ÀüÀûºÎ½É»çÀ§¿øÈ¸ÀÇ ½É»ç¸¦ °ÅÃÄ °ü¼¼¹ý Á¦118Á¶ Á¦4Ç×ÀÇ ±ÔÁ¤¿¡ ÀǰŠÁÖ¹®°ú °°ÀÌ °áÁ¤ÇÑ´Ù. |