|
|
ÆÇ·Ê∙¿¹±Ô |
Á¦ ¸ñ |
ÀïÁ¡¹°Ç°À» º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î·Î º¸¾Æ HS Á¦8542È£¿¡ ºÐ·ùÇÒÁö, ±âŸÀÇ ÃøÁ¤±â±â·Î º¸¾Æ HS Á¦9031È£¿¡ ºÐ·ùÇÒÁö |
±¸ ºÐ |
Á¶½É 2020°ü0136 (°áÁ¤ÀÏÀÚ : 2020-11-16)¡¡ |
³» ¿ë |
[°áÁ¤¿äÁö] ÀïÁ¡¹°Ç°Àº Ç¥¸é¿¡ Àΰ¡µÈ ÀÚ¼ÓÀÇ ¼¼±â¸¦ °¨ÁöÇÏ¿© ºñÁ¢ÃË ¹æ½ÄÀ¸·Î 360µµ Àý´ë °¢µµ¸¦ ÃøÁ¤Çϰí À̸¦ 0¿¡¼ 5º¼Æ® »çÀÌÀÇ ¾Æ³¯·Î±× Àü¾Ð°ª ³»Áö 0¿¡¼ 100% »çÀÌÀÇ µðÁöÅÐ º¯Á¶°ªÀ¸·Î Ãâ·ÂÇÏ´Â ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇϴ¹Ù, ÀÌ´Â ¹Ù·Î Á¦9031È£¿¡¼ ¸»ÇÏ´Â ÃøÁ¤±â´É¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀÌ´Â Á¡ µî¿¡ ºñÃß¾î ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÌ HSK Á¦9031.80-9099È£¿¡ ºÐ·ùµÈ´Ù°í º¸¾Æ û±¸¹ýÀÎÀÇ °æÁ¤Ã»±¸¸¦ °ÅºÎÇÑ Ã³ºÐÀº À߸øÀÌ ¾ø´Â °ÍÀ¸·Î ÆÇ´ÜµÊ
[ÁÖ ¹®] ½ÉÆÇû±¸¸¦ ±â°¢ÇÑ´Ù.
[ÀÌ À¯] 1. óºÐ°³¿ä °¡. û±¸¹ýÀÎÀº OO ¼ÒÀç OOºÎÅÍ ¼öÀÔ½Å°í¹øÈ£ OOÀ¸·Î OO(ÀÌÇÏ ¸ðµ¨ OO "ÀïÁ¡¹°Ç°¨ç"À̶ó Çϰí, OO "ÀïÁ¡¹°Ç°¨è"¶ó Çϸç, µÎ ¸ðµ¨À» ÇÕÇÏ¿© "ÀïÁ¡¹°Ç°"À̶ó ÇÑ´Ù)¸¦ ¼öÀÔÇÏ¸é¼ Ç°¸ñ¹øÈ£¸¦ '±× ¹ÛÀÇ ÃøÁ¤¿ëÀ̳ª °Ë»ç¿ë ±â±â'°¡ ºÐ·ùµÇ´Â HSK Á¦9031.80-9099È£(°ü¼¼À² 8%)·Î ½Å°íÇÏ¿´°í, óºÐûÀº À̸¦ ¼ö¸®ÇÏ¿´´Ù.
³ª. û±¸¹ýÀÎÀº 2020.2.10. ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ Ç°¸ñ¹øÈ£°¡ 'º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î'¸¦ ºÐ·ùÇÏ´Â HSK Á¦8542.39-3000È£(°ü¼¼À² 0%)¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù°í º¸¾Æ ¼öÀԽŰí½Ã Àû¿ëÇÑ ¼¼À²°úÀÇ Â÷ÀÌ¿¡ ÇØ´çµÇ´Â °ü¼¼ OO¿ø ¹× ºÎ°¡°¡Ä¡¼¼ OO¿ø ÇÕ°è OO¿øÀ» ȯ±ÞÇÏ¿© ´Þ¶ó´Â ÃëÁöÀÇ °æÁ¤Ã»±¸¸¦ ÇÏ¿´À¸³ª, óºÐûÀº 2020.4.9. À̸¦ °ÅºÎ(ÀÌÇÏ "ÀïÁ¡Ã³ºÐ"À̶ó ÇÑ´Ù)ÇÏ¿´´Ù.
´Ù. û±¸¹ýÀÎÀº ÀÌ¿¡ ºÒº¹ÇÏ¿© 2020.7.2. ½ÉÆÇû±¸¸¦ Á¦±âÇÏ¿´´Ù.
2. û±¸¹ýÀÎ ÁÖÀå ¹× Ã³ºÐû ÀÇ°ß °¡. û±¸¹ýÀÎ ÁÖÀå ÀïÁ¡¹°Ç°Àº º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î·Î ºÐ·ùµÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù. °ü¼¼À²Ç¥ÀÇ ÇØ¼®¿¡ °üÇÑ ÅëÄ¢(ÀÌÇÏ "ÅëÄ¢"À̶ó ÇÑ´Ù) 1¿¡ "¹ýÀûÀÎ ¸ñÀû»ó ǰ¸ñºÐ·ù´Â °¢ È£ÀÇ ¿ë¾î¿Í °ü·Ã ºÎ³ª ·ùÀÇ ÁÖ¿¡ µû¶ó °áÁ¤"ÇÑ´Ù°í ±ÔÁ¤Çϰí ÀÖ°í, Á¦16ºÎ ÁÖ Á¦1È£ Ÿ¸ñ¿¡¼ Á¦90·ùÀÇ ¹°Ç°À» Á¦¿ÜÇϵµ·Ï Çϰí ÀÖÀ¸³ª °ü¼¼À²Ç¥ Á¦85·ù ÁÖ Á¦8È£´Â "ÀÌ ÁÖ¿¡¼ ±ÔÁ¤ÇÑ ¹°Ç°À» ºÐ·ùÇÏ´Â °æ¿ì Á¦8541È£ ¶Ç´Â Á¦8542È£´Â, Á¦8523È£ÀÇ °æ¿ì¸¦ Á¦¿ÜÇϰí, ƯÈ÷ ±× ±â´ÉÀ¸·Î º¸¾Æ ÇØ´ç ¹°Ç°À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇØ¼®µÇ´Â ÀÌ Ç¥ÀÇ ´Ù¸¥ ¾î´À È£º¸´Ù ¿ì¼±ÇÑ´Ù"°í ±ÔÁ¤Çϰí ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÌ Á¦8542È£¿¡ ºÐ·ùµÉ ¼ö ÀÖ´Ù¸é ´Ù¸¥ È£·Î ºÐ·ùµÉ ¿©Áö°¡ ¾ø´Ù. µû¶ó¼ óºÐûÀº ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÌ Á¦8542È£¿¡ ºÐ·ùµÇ´ÂÁö ¿©ºÎ¸¦ ¸ÕÀú °ËÅäÇÏ¿©¾ß Çϰí, Á¦8542È£·Î ºÐ·ùµÉ ¼ö ¾ø´Â °æ¿ì¿¡¸¸ ´Ù¸¥ È£(Áï, Á¦9031È£)·ÎÀÇ ºÐ·ù °¡´É¼ºÀ» °ËÅäÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ÀïÁ¡¹°Ç°Àº Æò¸éÇü Hall Plate 4°³¿Í µðÁöÅнÅȣ󸮱â(Digital Signal Processor ; DSP)·Î ±¸¼ºµÈ ȸ·Î À§¿¡ ÀÛÀº ¿øÆÇ ÇüÅÂÀÇ °ÅõÀÚÀ² ¹°ÁúÀÎ IMC(ÀÚ±âÅëÇÕÁýÁßÀåÄ¡, ÀçÁú NiFe)¸¦ ÁõÂø½ÃŲ ¹°Ç°À¸·Î, ³»ºÎ ±¸Á¶´Â µÎ °³ÀÇ ´ÙÀÌ(die)°¡ Á¿ì·Î ³ª¶õÈ÷ ¹èÄ¡µÇ¾î ÀÖ°í, µÎ °³ÀÇ ´ÙÀÌ »çÀÌ¿¡´Â ¾î¶°ÇÑ Á÷Á¢ÀûÀÎ ¿¬°áÀÌ ¾ø´Ù. ÀïÁ¡¹°Ç°Àº Ç¥¸é¿¡ Àΰ¡µÈ ÀÚ¼ÓÀÇ ¼¼±â¸¦ °¨ÁöÇÏ¿© ºñÁ¢ÃË ¹æ½ÄÀ¸·Î 360µµ Àý´ë °¢µµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ¿© 0¿¡¼ 5º¼Æ® »çÀÌÀÇ ¾Æ³¯·Î±× Àü¾Ð°ª ³»Áö 0¿¡¼ 100% »çÀÌÀÇ µðÁöÅÐ º¯Á¶°ªÀ¸·Î Ãâ·ÂÇϸç, ÀÚµ¿Â÷ÀÇ ¿¢¼¿·¹ÀÌÅÍ, ºê·¹ÀÌÅ© Æä´Þ, Æ®·ÎƲ, Á¶Çâ°¢, ¸ðÅÍ»þÇÁÆ® µîÀÇ À§Ä¡ °¨Áö µî¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù. ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ´ÜÀÏÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤À¸·Î ÇϳªÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ±âÆÇ À§¿¡ ÁõÆø±â ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â Hall IC, DSP, IMC¸¦ ÀÏü·Î Çü¼ºÇÏ¿© ÆÐŰ¡ÇÑ ¹°Ç°ÀιÙ, ½Ç¸®ÄÜ Hall IC´Â ÀüÀÚ À̵¿µµ°¡ À۱⠶§¹®¿¡ ¼¼¹ÐÇÑ °¨Áö¸¦ À§ÇØ ÁõÆøÈ¸·ÎÀÎ IMC¸¦ ÇϳªÀÇ Ä¨¿¡ ÁýÀûÈÇÏ¿© Àڷ°¨Áö ¿ªÇÒÀº Hall IC¿Í IMC°¡ ¼öÇàÇÏ°Ô µÇ°í, DSP ±¸¼ººÎºÐÀº ¼¾½ÌºÎ¿¡¼ °¨ÁöÇÑ ÀÚ¼Ó·®¿¡ ´ëÇÑ ¾Æ³¯·Î±× ½ÅÈ£¸¦ µðÁöÅÐ ½ÅÈ£·Î º¯È¯ÇÑ´Ù. µû¶ó¼ ÀïÁ¡¹°Ç°Àº CMOS ¹æ½ÄÀ¸·Î ½Ç¸®ÄÜ ´ÙÀÌ »ó¿¡ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤À» ÅëÇØ ÀÌ·ç¾îÁø ¸ð³ë¸®½Ä ÁýÀûȸ·Î µÎ °³¸¦ ºÐ¸®°¡ ºÒ°¡´ÉÇÏ°Ô »óÇÏ ÀûÃþÇÏ¿© ¸®µåÇÁ·¹ÀÓ À§¿¡ ¿ÍÀÌ¾î º»µù ÈÄ ¸ôµùÇÏ¿© ÆÐŰ¡Çϴ ƯÇã±â¼ú·Î Á¦Á¶µÈ º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·ÎÀ̹ǷΠÅëÄ¢ Á¦1È£ ¹× Á¦6È£¿¡ µû¶ó HSK Á¦8542.39-3000È£¿¡ ºÐ·ùÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù. Á¦8542È£ÀÇ ¿ë¾î´Â "ÀüÀÚÁýÀûȸ·Î"À̰í, °ü¼¼À²Ç¥ Á¦85·ù ÁÖ Á¦8È£´Â ÀüÀÚÁýÀûȸ·Î¸¦ "¸ð³ë¸®½Ä ÁýÀûȸ·Î, ÇÏÀ̺긮µå ÁýÀûȸ·Î, º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î¸¦ ¸»ÇÑ´Ù"°í ÇÏ¸é¼ ±× Áß º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î¸¦ "°¢ÀÚÀÇ Àǵµ¿Í ¸ñÀû¿¡ µû¶ó ºÐ¸®°¡ ºÒ°¡´ÉÇϵµ·Ï °áÇÕµÈ µÎ °³ ÀÌ»óÀÇ ¸ð³ë¸®½Ä ÁýÀûȸ·Î·Î ±¸¼ºµÈ º¹ÇÕ±¸Á¶ÀÇ Ä¨À¸·Î ÀÌ·ç¾îÁø ÁýÀûȸ·Î¸¦ ¸»ÇÑ´Ù. ÇÑ °³ ÀÌ»óÀÇ Àý¿¬±âÆÇ°ú ¸®µåÇÁ·¹ÀÓÀ» °®Ãá °ÍÀÎÁö¿¡ »ó°ü¾øÀ¸¸ç ´Ù¸¥ ´Éµ¿ ȸ·Î¼ÒÀÚ³ª ¼öµ¿ ȸ·Î¼ÒÀÚ¸¦ °®Ãá °ÍÀº Á¦¿ÜÇÑ´Ù"°í ±ÔÁ¤Çϰí ÀÖÀ¸¹Ç·Î ´É¡¤¼öµ¿¼ÒÀÚ¿Í ¼öµ¿¼ÒÀÚÀÇ ¼º°ÝÀ» ¶ì°í Àִ ȸ·Î¼ÒÀÚÀÎ Hall IC¿Í DSP, IMC¸¦ ºÐ¸®°¡ ºÒ°¡´ÉÇϵµ·Ï ³»ºÎ¿¡ Çѵ¢¾î¸® »óÅ·Π¸ôµùÇÑ ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ºÒ°¡ºÐÀÇ »óÅ·Π°áÇÕµÈ ¹°Ç°À¸·Î º¼ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀïÁ¡¹°Ç°À» Á¦Á¶ÇÏ´Â °øÁ¤Àº OO¿¡¼ Hall Plate¿Í DSP·Î ±¸¼ºµÈ ¼ÒÀÚ¿¡ IMC¸¦ ÁõÂøÇϴ ƯÇã±â¼ú·Î °³¹ßÇÑ °ÍÀ̹ǷΠIMC¸¦ ÁõÂøÇÏ´Â °øÁ¤ÀÌ Ãß°¡µÇ¾ú´Ù°í ÇÏ¿© Á¦8542È£ÀÇ ÁýÀûȸ·ÎÀÇ ¹üÁÖ¸¦ ¹þ¾î³ª´Â °ÍÀ¸·Î º¼ ¼ö ¾ø´Ù. ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ Á¦Á¶½Ã IMC¸¦ ÁõÂøÇÏ´Â °øÁ¤Àº º°°³ÀÇ °øÁ¤À¸·Î º¼ ¼ö ¾ø°í ¸ðµÎ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àϰý°øÁ¤ÀÇ ÀϺκп¡ ÇØ´çµÇ¸ç, IMC´Â Hall Plate¿¡¼ °¨ÁöÇÏ´Â ÀÚ¼Ó·®À» ½±°Ô °¨ÁöÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µµ¿òÀ» ÁÖ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â °øÁ¤À¸·Î Hall Plate°¡ ÀÚ¼Ó °¨Áö½Ã º¸Á¶ÀûÀÎ ±â´ÉÀ» ÇÏ´Â ±¸¼ººÎºÐÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ÀïÁ¡¹°Ç°Àº °ü¼¼À²Ç¥ Á¦8542È£¿¡ ´ëÇÑ HS ÇØ¼³¼°¡ ¼³¸íÇϰí ÀÖ´Â Á¦¿ÜµÇ´Â Á¶¸³Ç°¿¡ ÇØ´çµÇÁö ¾Ê°í, »ç½Ç»ó ºÒ°¡ºÐÀÇ »óÅ·ΠÁ¶¸³µÈ º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î´Â Á¦8542È£¿¡ ºÐ·ùÇϵµ·Ï ±ÔÁ¤Çϰí ÀÖÀ¸¹Ç·Î ÀïÁ¡¹°Ç°Àº Á¦8542È£·Î ºÐ·ùÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù. OO´Â ÀÚ¼Ó°¨Áö±â´ÉÀ» ÇÏ´Â OOÀ» Ãâ½ÃÇÏ¿´´Âµ¥ ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ±× Á¦Ç°ÀÇ ÀϺÎÀÌ´Ù. OOÁ¦Ç°±º Ãâ½Ã ÀÌÀüÀÇ Hall IC´Â ¿ÀÁ÷ Ĩ Ç¥¸é°ú ¼öÁ÷¹æÇâÀ¸·Î µé¾î¿À´Â ÀÚ°è ¼ººÐ¿¡¸¸ ¹ÝÀÀÇÏ¿© Àü·ù¸¦ °ËÃâÇÏ¿´À¸³ª, OO IMC¶ó´Â ¾ãÀº ¿¬ÀÚ¼ºÃ¼¸¦ Hall ¼ÒÀÚ Ç¥¸é À§¿¡ ÁõÂøÇÏ¿© IMC-Hall IC¸¦ °³¹ßÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ±âÁ¸ÀÇ IMC°¡ ÀåÂøµÇÁö ¾ÊÀº Hall IC°¡ Hall ¼ÒÀÚ·Î ¼öÁ÷À¸·Î µé¾î¿À´Â ¹æÇâÀÇ ÀÚ¼Ó¼ººÐ¿¡¸¸ ¹ÝÀÀÀ» ÇÏ¿´´Ù¸é, IMC°¡ ÀåÂøµÈ IMC-Hall IC´Â ¼öÆòÀ¸·Î µé¾î¿À´Â ÀÚ¼Ó¼ººÐ±îÁö °ËÃâÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ °ÍÀÌ´Ù. µû¶ó¼, ±âÁ¸ÀÇ Hall ICµµ ¼öÁ÷À¸·Î µé¾î¿À´Â ÀÚ¼Ó·®À» °¨ÁöÇÏ¿´°í, IMC°¡ ÀåÂøµÈ ÀÌÈÄ ÀÚ¼Ó·®ÀÇ °ËÃâ ¹üÀ§°¡ 360µµ·Î È®´ëµÈ °ÍÀ̹ǷΠµÎ °³ÀÇ ´ÙÀÌ·Î ±¸¼ºµÈ Hall IC°¡ º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î·Î ºÐ·ùµÇ´Â ÀÌ»ó, ƯÇã±â¼ú¿¡ µû¶ó ÀÚ¼Ó °¨Áö¹üÀ§°¡ ´Ã¾î³ ÀïÁ¡¹°Ç°µµ º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î·Î¼ HSK Á¦8542.39-3000È£·Î ºÐ·ùÇÏ´Â °ÍÀÌ Å¸´çÇÏ´Ù.
³ª. óºÐû ÀÇ°ß ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ÀÚ¼ÓÀÇ ¼¼±â¸¦ °¨ÁöÇÏ¿© ȸÀü ¶Ç´Â ¼±ÇüÀ§Ä¡¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¹°Ç°À¸·Î, ÅëÄ¢ Á¦1È£ ¹× Á¦6È£¿¡ µû¶ó HSK Á¦9031.80-9099È£ÀÇ '±âŸÀÇ ÃøÁ¤¿ë ±â±â'·Î ºÐ·ùµÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù. ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ÀÚ·ÂÀ» °¨ÁöÇÏ¿© Àڱ⠽ÅÈ£·Î ¸¸µç µÚ À̸¦ Àü±âÀûÀÎ ½ÅÈ£·Î º¯È¯ÇÏ´Â ¼¾½ÌºÎ(Æò¸éÇü Hall Plate 4°³·Î ±¸¼ºµÇ¸ç, OO ºÒ¸²)¿Í ÇØ´ç ½ÅÈ£¸¦ °¢µµ·Î °è»êÇÏ´Â µðÁöÅнÅȣ󸮺Î(DSP ; Digital Signal Processing)·Î ±¸¼ºµÈ ȸ·Î À§¿¡ ÀÛÀº ¿øÆÇ ÇüÅÂÀÇ °ÅõÀÚÀ² ¹°ÁúÀÎ IMC¸¦ °áÇÕ½ÃŲ ´ÙÀÌ(die) 2°³°¡ Á¿ì·Î ³ª¶õÈ÷ ¹èÄ¡µÇ¾î ÀÖ°í, µÎ °³ÀÇ ´ÙÀÌ »çÀÌ¿¡´Â ¾î¶°ÇÑ Á÷Á¢ÀûÀÎ ¿¬°áÀÌ ¾øÀ¸¸ç, ºñÁ¢ÃË ¹æ½ÄÀ¸·Î 360µµ Àý´ë °¢µµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ¿© 0¿¡¼ 5º¼Æ® »çÀÌÀÇ ¾Æ³¯·Î±× Àü¾Ð°ª ³»Áö 0¿¡¼ 100% »çÀÌÀÇ µðÁöÅÐ º¯Á¶°ªÀ¸·Î Ãâ·ÂµÇ¸ç, ÀÚµ¿Â÷ÀÇ ¿¢¼¿·¹ÀÌÅÍ, ºê·¹ÀÌÅ© Æä´Þ, Æ®·ÎƲ, Á¶Çâ°¢, ¸ðÅÍ»þÇÁÆ® µîÀÇ À§Ä¡ °¨Áö µî¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù. ÀïÁ¡¹°Ç°Àº OOÀÇ ÀÚµ¿Â÷¿ë È¥ÇÕ ½ÅÈ£ CMOS ±â¼ú°ú OOÀÇ ÅëÇÕ ÀÚ±âÁýÁßÀåÄ¡ ±â¼úÀ» °áÇÕÇÏ¿© ±âÁ¸ Æò¸é Ȧ ±â¼ú¿¡¼ ÀÛ¿ëÇÏ´ø ICÇ¥¸é¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ Àڼӹеµ »Ó ¾Æ´Ï¶ó ICÇ¥¸é¿¡ ÆòÇàÀÎ Àڼӹеµ¿¡µµ ¹Î°¨ÇÏ°Ô ÀÛ¿ëÇÔÀ¸·Î½á OO ÀÚ±âÀå ÃøÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ÀïÁ¡¹°Ç°À» ±¸¼ºÇÏ´Â ´ÙÀÌÀÇ ¼¾½ÌºÎ´Â ICÇ¥¸é¿¡ ÆòÇàÀÎ Àڼӹеµ¸¦ °¨ÁöÇϱâ À§ÇØ 2½ÖÀÇ ¼öÁ÷À¸·Î ±³Â÷µÈ Æò¸é Ȧ Ç÷¹ÀÌÆ® À§¿¡ ÅëÇÕÀÚ±âÁýÁßÀåÄ¡(IMC)°¡ °áÇÕµÈ ÇüÅ·Î, OO°øÀåÀº Hall Plate 4°³¿Í DSP·Î ±¸¼ºµÈ ÁýÀûȸ·Î¸¦ Á¦Á¶Çϰí, OO¿¡¼ Á¦Á¶µÈ ÁýÀûȸ·Î¿¡ ÀüµµÃ¼ ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â OOÀ» ÁõÂø½Ã۰í, Æ÷Åä°øÁ¤À¸·Î ¸¸µé¾îÁø ÆÐÅÏ¿¡ Àü±âµµ±ÝÀ» ÅëÇØ ÀÚ¼ºÀ» ¶ì´Â ±Ý¼Ó¹°ÁúÀÎ NiFe¸¦ ÁõÂø½ÃŲ ´ÙÀ½ °¨±¤¾×À» ¹þ°Ü³»°í OO ÀüµµÃþÀ» ½Ä°¢ÇÔÀ¸·Î½á IMC¸¦ ¿Ï¼ºÇϸç, OO °øÀåÀº À̸¦ ¸ôµùÇÏ¿© ÃÖÁ¾ÀûÀ¸·Î ÀïÁ¡¹°Ç°À» ¿Ï¼ºÇÑ´Ù. °ü¼¼À²Ç¥ Á¦90·ù¿¡´Â ÁÖ·Î ±¤Çбâ±â, ÃøÁ¤±â±â, °Ë»ç±â±â µîÀÌ ºÐ·ùµÇ°í, ±× Áß Á¦9031È£¿¡´Â '±× ¹ÛÀÇ ÃøÁ¤¿ëÀ̳ª °Ë»ç¿ë ±â±â(ÀÌ ·ù¿¡ µû·Î ºÐ·ùµÇÁö ¾ÊÀº °ÍÀ¸·Î ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù)¿Í À±°û Åõ¿µ±â'°¡ ºÐ·ùµÇ´Âµ¥, Á¦9031È£¿¡ ´ëÇÑ °ü¼¼À²Ç¥ ÇØ¼³¼´Â 'ÀÌ È£¿¡´Â À±°ûÅõ¿µ±â À̿ܿ¡ ÃøÁ¤ ¶Ç´Â °Ë»ç¿ë ±â±â¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ´Ù'°í Çϸé¼, '(27) Àç·áÀÇ È졤±Õ¿ ¶Ç´Â ±âŸÀÇ °áÇÔ°ËÃâÀåÄ¡, (29) ÀÀ·Â ¹× ¿Ö·ÂÀÇ Àü±â½Ä ÃøÁ¤¿ë±â±â'¿Í °°ÀÌ ÀÚ±âÀÇ º¯µ¿ ¶Ç´Â ÅõÀÚÀ²ÀÇ º¯µ¿°ú ÀúÇ×Ä¡ÀÇ º¯µ¿ µî¿¡ µû¸¥ ¿©·¯ Á¾·ùÀÇ º¯·®À» ÃøÁ¤ ¶Ç´Â °Ë»çÇÏ´Â ±â±â¸¦ ¿¹½ÃÇϰí ÀÖ´Ù. ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ¼¾½ÌºÎ¿¡¼ Ç¥¸é¿¡ Àΰ¡µÈ ÀÚ¼ÓÀÇ ¼¼±â¸¦ °¨ÁöÇϰí ÀÚ±âÀåÀÇ º¯È¿¡ µû¶ó ÀÌ¿¡ ÇØ´çÇϴ ȸÀü ¶Ç´Â ¼±ÇüÀ§Ä¡¸¦ ÃøÁ¤ÇÑ µÚ ±× ½ÅÈ£¸¦ µðÁöÅнÅȣ󸮺ο¡¼ ÇØ´ç Àü¾Ð°ªÀ¸·Î Ãâ·ÂÇÏ´Â ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇÏ´Â ¹°Ç°À¸·Î, ÀÚ¼ÓÀ» °¨ÁöÇÏ¿© À§Ä¡ µîÀ» ÃøÁ¤ÇÏ´Â ±â´ÉÀº °ü¼¼À²Ç¥ Á¦9031È£¿¡¼ ¼³¸íÇϰí ÀÖ´Â ÃøÁ¤¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù. û±¸¹ýÀÎÀº ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÌ Á¦8542È£¿¡ ºÐ·ùµÈ´Ù°í ÁÖÀåÇϳª, Á¦85·ù°¡ ¼ÓÇØ ÀÖ´Â °ü¼¼À²Ç¥ Á¦16ºÎ ÁÖ Á¦1È£¿¡ 'Á¦90·ùÀÇ ¹°Ç°'À» Á¦¿ÜµÇ´Â ¹°Ç°À¸·Î ¸í½ÃÇϰí ÀÖ¾î HS Á¦9031È£¿¡ ºÐ·ùµÇ´Â ÀïÁ¡¹°Ç°Àº Á¦16ºÎ¿¡ ºÐ·ùµÉ ¼ö ¾ø´Ù. HS Á¦85·ù ÁÖ Á¦8È£´Â 'ÀÌ ÁÖ¿¡¼ ±ÔÁ¤ÇÑ ¹°Ç°À» ºÐ·ù ÇÏ´Â °æ¿ì Á¦8541È£ ¶Ç´Â Á¦8542È£´Â, Á¦8523È£ÀÇ °æ¿ì¸¦ Á¦¿ÜÇϰí, ƯÈ÷ ±× ±â´ÉÀ¸·Î º¸¾Æ ÇØ´ç ¹°Ç°À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇØ¼®µÇ´Â ÀÌ Ç¥ÀÇ ´Ù¸¥ ¾î´À È£º¸´Ù ¿ì¼±ÇÑ´Ù'°í ±ÔÁ¤Çϸé¼, °°Àº È£ ³ª¸ñÀ» ÅëÇÏ¿© Á¦8541È£¿Í Á¦8542È£¿¡¼ÀÇ ÀüÀÚÁýÀûȸ·Î¸¦ '1) ¸ð³ë¸®½Ä ÁýÀûȸ·Î, 2) ÇÏÀ̺긮µå ÁýÀûȸ·Î, 3) º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î'·Î ±¸ºÐÇϰí ÀÖ´Ù. HS Á¦8542È£¿¡ ´ëÇÑ °ü¼¼À²Ç¥ ÇØ¼³¼´Â, (a) Àμâȸ·Î·Î Çü¼ºµÈ ÁöÁö¹° À§¿¡ Çϳª ÀÌ»óÀÇ °³º°ºÎǰÀ» ÀåÂøÇÑ °Í, (b) ÀüÀÚÃʼÒÇüȸ·Î À§¿¡ ´ÙÀÌ¿Àµå, º¯È±â, ¶Ç´Â ÀúÇױ⠵î Çϳª ¶Ç´Â ±× ÀÌ»óÀÇ ´Ù¸¥ µð¹ÙÀ̽º¸¦ ºÎ°¡ÇÑ °Í, (c) °³º° ºÎǰ³¢¸® °áÇÕÇÑ °Í ¶Ç´Â º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î ÀÌ¿ÜÀÇ ¹æ½ÄÀ¸·Î ÃʼÒÇüȸ·Î¸¦ °áÇÕÇÑ °ÍÀ» ÀÌ È£¿¡¼ Á¦¿ÜµÇ´Â ¹°Ç°À¸·Î ¸í½ÃÇϰí Àִ¹Ù, ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ °¢ ´ÙÀÌ´Â Wafer Fab °øÁ¤À» ÅëÇØ ¿Ï¼ºµÈ Hall ¼¾¼ ÀüÀÚÁýÀûȸ·Î À§¿¡ NiFe ÀçÁú·Î µÈ µð½ºÅ© ÇüÅÂÀÇ IMC¸¦ ºÎ°¡ÇÑ °ÍÀ¸·Î, IMC´Â CMOS Ȧ¼¾¼ÀÇ ¼º´ÉÀ» Çâ»ó½ÃŰ´Â Ư¼ö ±¸Á¶¹°¿¡ ÇØ´çÇϰí, HS Á¦8542È£¿¡¼ Á¦¿ÜµÇ´Â Á¶¸³Ç° Áß 'ÀüÀÚÃʼÒÇüȸ·Î À§¿¡ ´ÙÀÌ¿Àµå, º¯È±â, ¶Ç´Â ÀúÇױ⠵î Çϳª ¶Ç´Â ±× ÀÌ»óÀÇ ´Ù¸¥ µð¹ÙÀ̽º¸¦ ºÎ°¡ÇÑ °Í'¿¡¼ÀÇ 'ºÎ°¡'¶ó ÇÔÀº º°µµ °øÁ¤À» ÅëÇØ »ý»êµÈ µð¹ÙÀ̽º Á¶¸³¸¸À» ÇÑÁ¤Çϰí ÀÖÁö ¾ÊÀ¸¹Ç·Î, ÀïÁ¡¹°Ç°°ú °°ÀÌ ÀÌ¹Ì ¿Ï¼ºµÈ ÁýÀûȸ·Î À§¿¡ º°°³ÀÇ ¹Ú¸·°øÁ¤À» ÅëÇØ µð¹ÙÀ̽º¸¦ Çü¼ºÇÏ´Â °Í ¶ÇÇÑ Æ÷ÇÔµÈ´Ù°í º¸¾Æ¾ß ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. ¸ð³ë¸®½Ä ÁýÀûȸ·Î´Â ¨ç ¹ÝµµÃ¼ Àç·á¿¡ ¨è ȸ·Î¼ÒÀÚ°¡ ¨é ºÒ°¡ºÐÀÇ »óÅ·Π°áÇÕµÈ °ÍÀ» ¸»Çϴ¹Ù, ȸ·Î¼ÒÀÚ´Â ÀδöÅϽº¡¤ÀúÇױ⡤ÃàÀü±â µîÀÇ ¼öµ¿¼ÒÀÚ¿Í ´ÙÀÌ¿Àµå¡¤Æ®·£Áö½ºÅÍ µîÀÇ ´Éµ¿¼ÒÀÚ·Î ±¸ºÐµÇ´Âµ¥, IMC´Â Ȧ Ç÷¹ÀÌÆ®(Hall plate) ¹× ÀüÀÚ½Åȣ󸮺Î(DSP)·Î ±¸¼ºµÈ ȸ·Î¿Í Àü±âÀûÀ¸·Î Àý¿¬µÇ¾î Àü±â½ÅÈ£ ¶Ç´Â Àü·ùÀÇ È帧 µî°ú ¹«°üÇÏ°Ô ÁÖº¯ÀÇ ÀÚ¼Ó·®À» ¸ð¾ÆÁְųª IC¿¡ ÆòÇàÇÑ ÀÚ±âÀåÀ» ¼öÁ÷ ¹æÇâÀ¸·Î ¹Ù²Ù¾î ÁÖ´Â ¿ªÇÒ¸¸À» ÇϹǷΠȸ·Î¼ÒÀÚ¿¡ ÇØ´çµÇÁö ¾Ê´Â´Ù. °ü¼¼Ã»ÀåÀº 2014.12.9. ÀïÁ¡¹°Ç°°ú °°Àº ¸ðµ¨ÀÎ OO ÀÚ±âÀåÀÇ È帧À» À¯µµÇϱâ À§ÇÏ¿© OO °áÇÕÇÑ ¹°Ç°¿¡ ´ëÇÏ¿© HSK Á¦9031.80-9099È£·Î ºÐ·ùÇÏ¿´°í, Á¶¼¼½ÉÆÇ¿øµµ À§ OO °áÇÕµÈ È¦ ¼¾¼ IC¿¡ ´ëÇÏ¿© Á¦9031È£·Î ºÐ·ùÇÏ´Â °ÍÀÌ Å¸´çÇÏ´Ù´Â °áÁ¤À» ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù(Á¶½É 2015°ü115¡¤190, 2015.12.31.). µû¶ó¼, ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ °¢ ´ÙÀÌ´Â ¿Ï¼ºµÈ Ȧ ¼¾¼ IC ¿þÀÌÆÛ¿¡ º°µµÀÇ IMC °øÁ¤À» ÅëÇÏ¿© IMC(ÀÚ±âÅëÇÕÀ¯µµÀåÄ¡)¸¦ ºÎ°¡ÇÑ °ÍÀ¸·Î °ü¼¼À²Ç¥ Á¦8542È£ÀÇ ¸ð³ë¸®½Ä ÁýÀûȸ·Î¿¡ ÇØ´çÇÏÁö ¾Ê°í ÀÌ·¯ÇÑ ´ÙÀÌ 2°³·Î ÀÌ·ç¾îÁø ÀïÁ¡¹°Ç°À» º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î·Î º¼ ¼ö ¾ø´Ù. û±¸¹ýÀÎÀº ÀÚ±âÁýÁßÀåÄ¡°¡ ¾ø´Â Hall ¼¾¼ ICÀÇ Ç°¸ñºÐ·ù»ç·Ê ¹× Á¶¼¼½ÉÆÇ¿ø °áÁ¤·Ê¸¦ ¾ð±ÞÇϰí Àִµ¥, ÀÌµé »ç·Ê ¹× °áÁ¤·Ê´Â Hall ¼¾¼ IC¿¡ ÀÚ¼Ó·®À» ¸ð¾ÆÁÖ´Â Concentrator°¡ ¾ø´Â ¹°Ç°¿¡ ´ëÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀïÁ¡¹°Ç°°ú ±¸Á¶°¡ ´Þ¶ó ÀÌ °Ç¿¡ ±×´ë·Î Àû¿ëÇÒ ¼ö ¾ø´Ù.
3. ½É¸® ¹× ÆÇ´Ü °¡. ÀïÁ¡ °¡. ÀïÁ¡ ÀïÁ¡¹°Ç°À» º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î·Î º¸¾Æ HS Á¦8542È£¿¡ ºÐ·ùÇÒÁö, ±âŸÀÇ ÃøÁ¤±â±â·Î º¸¾Æ HS Á¦9031È£¿¡ ºÐ·ùÇÒÁö
³ª. °ü·Ã ¹ý·É µî : £¼º°Áö£¾ ±âÀç
´Ù. »ç½Ç°ü°è ¹× ÆÇ´Ü (1) ÀïÁ¡¹°Ç°Àº µÎ °³ÀÇ ´ÙÀÌ(die)°¡ Á¿ì·Î ³ª¶õÈ÷ ¹èÄ¡µÇ¾î ÀÖ´Â º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÇüÅÂÀÇ ¹°Ç°À¸·Î, °¢ ´ÙÀÌÀÇ ³»ºÎ±¸Á¶´Â Å©°Ô ÀÚ·ÂÀ» °¨ÁöÇÏ¿© Àڱ⠽ÅÈ£·Î ¸¸µç µÚ À̸¦ Àü±âÀûÀÎ ½ÅÈ£·Î º¯È¯ÇÏ´Â ¼¾½ÌºÎOO¿Í ÇØ´ç ½ÅÈ£¸¦ °¢µµ·Î °è»êÇÏ´Â µðÁöÅнÅȣ󸮺ηΠ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ°í, ¼¾½ÌºÎÀÇ IMC¿Í Hall Plate´Â Àü±âÀûÀ¸·Î ¼·Î Àý¿¬µÇ¾î ÀÖ´Ù. ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ °¢ ´ÙÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤À¸·Î µ¿ÀÏÇÑ ¿þÀÌÆÛ »ó¿¡ Æò¸éÇü Hall Plate(½Ç¸®ÄÜ ÀçÁúÀÇ 2Â÷¿ø Æò¸é ÇüÅ·Πȸ·Î¼ÒÀÚ ÇüÅÂÀ̰í ÀÚ¼Ó·®À» °¨Áö) 4°³¿Í DSP(Digital Signal Processing, µðÁöÅнÅȣó¸®) ¹× ÀÛÀº ¿øÆÇ ÇüÅÂÀÇ °ÅõÀÚÀ² ¹°Áú[IMC(Integrated Magnetic Concentrator) : ÀÚ±âÅëÇÕÁýÁßÀåÄ¡·Î NiFe ÀçÁúÀÇ µð½ºÅ© ÇüÅ·ΠÁÖº¯ÀÇ ÀÚ¼Ó·®À» ¸ð¾Æ Hall plate°¡ º¸´Ù ½±°Ô ÀÚ¼Ó·®À» °¨ÁöÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï º¸¿ÏÇØÁÖ´Â ±â´ÉÀ» ¼öÇà]À» ÀÏü·Î Çü¼º½ÃŲ ÈÄ ÆÐŰ¡ÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
(2) ÀïÁ¡¹°Ç°Àº Ç¥¸é¿¡ Àΰ¡µÈ ÀÚ¼ÓÀÇ ¼¼±â¸¦ °¨ÁöÇÏ¿© ºñÁ¢ÃË ¹æ½ÄÀ¸·Î 360µµ Àý´ë °¢µµ¸¦ ÃøÁ¤Çϰí À̸¦ 0¿¡¼ 5º¼Æ® »çÀÌÀÇ ¾Æ³¯·Î±× Àü¾Ð°ª ³»Áö 0¿¡¼ 100% »çÀÌÀÇ µðÁöÅÐ º¯Á¶°ªÀ¸·Î Ãâ·ÂÇϸç, ÀÚµ¿Â÷ÀÇ ¾×¼¿·¯·¹ÀÌÅÍ, ºê·¹ÀÌÅ© Æä´Þ, Æ®·ÎƲ, Á¶Çâ°¢, ¸ðÅÍ»þÇÁÆ® µîÀÇ À§Ä¡ °¨Áö µî¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù. ÀïÁ¡¹°Ç°Àº OO¶ó°íµµ ºÒ¸®´Âµ¥, OO ÀÚµ¿Â÷¿ë È¥ÇÕ ½ÅÈ£ CMOS ±â¼ú°ú OO ÅëÇÕ ÀÚ±âÁýÁßÀåÄ¡ ±â¼úÀ» °áÇÕÇÑ ÀڱⰨÁö±â¼ú·Î, ÀïÁ¡¹°Ç°ÀºOO Àû¿ëÀ» ÅëÇØ ±âÁ¸ Æò¸é Ȧ ±â¼ú¿¡¼ ÀÛ¿ëÇÏ´ø ICÇ¥¸é¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ Àڼӹеµ »Ó ¾Æ´Ï¶ó IC Ç¥¸é¿¡ ÆòÇàÀÎ Àڼӹеµ¿¡µµ ¹Î°¨ÇÏ°Ô ÀÛ¿ëÇÔÀ¸·Î½á OOÀÇ ÀÚ±âÀå ÃøÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
(3) ÀïÁ¡¹°Ç°Àº OO·Î ±¸¼ºµÈ ÁýÀûȸ·Î¸¦ Á¦Á¶Çϰí, OO¿¡¼ ¹Ú¸·°øÁ¤À» ÅëÇØ NiFe ÀçÁúÀÇ ÅëÇÕÀÚ±âÁýÁßÀåÄ¡(IMC)¸¦ ÁõÂøÇϸç, OO¿¡¼ ÆÐŰ¡ °øÁ¤À» ¼öÇàÇÑ´Ù. ±¸Ã¼ÀûÀÎ °øÁ¤À¸·Î ¸ÕÀú, Hall Element´Â ¨ç Grow field oxide(PÇü ±âÆÇ¿¡ Àý¿¬Ã¼·Î »ç¿ëµÇ´Â SiO2Ãþ Çü¼º) ¡æ ¨è Etch oxide for pMOSFET(»êȸ· ½Ä°¢) ¡æ ¨é Diffuse n-well(pMOS¿ë n-wellÃþ Çü¼º) ¡æ ¨ê Etch oxide for nMOSFET(»êȸ· ½Ä°¢) ¡æ ¨ë Grow gate oxide(°ÔÀÌÆ® »êȸ· ¼ºÀå) ¡æ ¨ì Deposit polysilicon(Æú¸®½Ç¸®ÄÜ ÁõÂø) ¡æ ¨í Etch polysilicon £¦ oxide ¡æ ¨î Implant sources £¦ drains(ÀÌ¿ÂÁÖÀÔÀ» ÅëÇÑ source¿Í drain Çü¼º) °úÁ¤À» °ÅÃÄ Á¦Á¶µÇ°í, IMC´Â ¨ï Grow nitride(Áúȸ· ¼ºÀå) ¡æ ¨ð Etch nitride(Áúȸ· ½Ä°¢) ¡æ ¨ñ Deposit metal(±Ý¼Ó ÁõÂø) ¡æ ¨ò Etch metal(±Ý¼Ó ½Ä°¢) °øÁ¤À» °ÅÃÄ Á¦Á¶µÈ´Ù.
(4) óºÐûÀº À§ IMC Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ ´ëÇÏ¿©, OO¿¡¼ ¿Ï¼ºµÈ HALL¼¾¼ IC ¿þÀÌÆÛ¸¦ OO°øÀå¿¡ ÀÔ°íÇÏ¿© Æ÷Åä°øÁ¤À¸·Î ¸¸µé¾îÁø ÆÐÅÏ¿¡ Àü±âµµ±ÝÀ» ÅëÇØ ÀÚ¼ºÀ» ¶ì´Â ±Ý¼Ó¹°ÁúÀÎ NiFe¸¦ ÁõÂø½ÃŰ´Â °ÍÀ̹ǷΠ¿Ï¼ºµÈ IC¿¡ IMC¸¦ ºÎ°¡ÇÑ´Ù´Â ÀǰßÀ̳ª, û±¸¹ýÀÎÀº IMC °øÁ¤ÀÌ ÇϳªÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àç·á À§¿¡ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶±â¼ú·Î Ȧ ¼ÒÀÚ¿Í IMC¸¦ ¿¬¼ÓÀûÀ¸·Î Çü¼ºÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ÀÇ ÀϺημ Ȧ ¼ÒÀÚ¿Í IMC¸¦ ÇÑ µ¢¾î¸® »óÅ·ΠÁýÀûÇÏ¿©¾ß ¿Ï¼ºµÈ Ȧ ¼¾¼ IC°¡ µÈ´Ù°í ÇÏ¸é¼ ¿Ï¼ºµÈ IC À§¿¡ ´Ü¼øÈ÷ IMC¸¦ ºÎ°¡ÇÏ´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¶ó°í ÁÖÀåÇÑ´Ù.
(5) °ü¼¼À²Ç¥ Á¦85·ùÀÇ ÁÖ 8 ³ª¸ñ¿¡¼ ¸ð³ë¸®½Ä ÁýÀûȸ·Î¸¦ "ȸ·Î¼ÒÀÚ(´ÙÀÌ¿Àµå¡¤Æ®·£Áö½ºÅÍ¡¤ÀúÇױ⡤ÃàÀü±â¡¤ÀδöÅϽº µî)°¡ ÇϳªÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àç·á³ª ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼ Àç·á(¿¹ : µµÇÁµÈ ½Ç¸®ÄÜ, ºñ¼ÒȰ¥·ý, ½Ç¸®ÄÜ °Ô¸£¸¶´½, ÀÎÈÀεã)ÀÇ ³»ºÎ³ª Ç¥¸é¿¡ ÇÑ µ¢¾î¸® »óÅ·ΠÁýÀûµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, ºÐ¸®°¡ ºÒ°¡´ÉÇϵµ·Ï °áÇÕµÈ È¸·Î"¶ó°í Á¤ÀÇÇϰí ÀÖ°í, º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î¸¦ "°¢ÀÚÀÇ Àǵµ¿Í ¸ñÀû¿¡ µû¶ó ºÐ¸®°¡ ºÒ°¡´ÉÇϵµ·Ï °áÇÕµÈ µÎ °³ ÀÌ»óÀÇ ¸ð³ë¸®½Ä ÁýÀûȸ·Î·Î ±¸¼ºµÈ º¹ÇÕ±¸Á¶ÀÇ Ä¨À¸·Î ÀÌ·ç¾îÁø ÁýÀûȸ·Î¸¦ ¸»ÇÑ´Ù. ÇÑ °³ ÀÌ»óÀÇ Àý¿¬±âÆÇ°ú ¸®µåÇÁ·¹ÀÓÀ» °®Ãá °ÍÀÎÁöÀÇ ¿©ºÎ¸¦ ºÒ¹®ÇϵÇ, ´Ù¸¥ ´Éµ¿ ¶Ç´Â ¼öµ¿ ȸ·Î¼ÒÀÚ¸¦ °®Ãá °ÍÀº Á¦¿ÜÇÑ´Ù"°í ±ÔÁ¤Çϰí ÀÖ´Ù. ÇÑÆí °ü¼¼À²Ç¥ Á¦8542È£¿¡ ´ëÇÑ HS ÇØ¼³¼´Â ÀüÀÚÁýÀûȸ·Î¿¡¼ (a) Àμâȸ·Î·Î Çü¼ºµÈ ÁöÁö¹° À§¿¡ Çϳª ÀÌ»óÀÇ °³º°ºÎǰÀ» ÀåÂøÇÑ °Í, (b) ÀüÀÚÃʼÒÇüȸ·Î À§¿¡ ´ÙÀÌ¿Àµå, º¯È±â, ¶Ç´Â ÀúÇױ⠵î Çϳª ¶Ç´Â ±× ÀÌ»óÀÇ ´Ù¸¥ µð¹ÙÀ̽º¸¦ ºÎ°¡ÇÑ °Í ¹× (c) °³º° ºÎǰ³¢¸® °áÇÕÇÑ °Í ¶Ç´Â º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î ÀÌ¿ÜÀÇ ¹æ½ÄÀ¸·Î ÃʼÒÇüȸ·Î¸¦ °áÇÕÇÑ °ÍÀº Á¦¿ÜµÈ´Ù°í ±ÔÁ¤Çϰí ÀÖ´Ù.
(6) °ü¼¼À²Ç¥ Á¦85·ù ÁÖ 5¿¡¼ Àμâȸ·Î¸¦ "ÀμâÁ¦ÆÇ±â¼úÀ̳ª ¸·È¸·Î±â¼ú·Î µµÃ¼¼ÒÀÚ¡¤Á¢¼ÓÀÚ³ª ±× ¹ÛÀÇ ÀμâµÈ ±¸¼ººÎºÐ(¿¹: ÀδöÅϽº¡¤ÀúÇױ⡤ÃàÀü±â)À» Àý¿¬±âÆÇ À§¿¡ Çü¼ºÇÏ¿© ¸¸µç ȸ·Î¸¦ ¸»ÇÑ´Ù. ´Ù¸¸, ¡¦ Àü±âÀûÀÎ ½ÅÈ£¸¦ ¹ß»ý¡¤Á¤·ù¡¤º¯Á¶¡¤ÁõÆøÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¼ÒÀÚ(¿¹: ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ)´Â Á¦¿ÜÇÑ´Ù"°í ±ÔÁ¤Çϰí ÀÖ´Ù.
(7) À§ (5)¿¡ ¾ð±ÞµÈ ȸ·Î¼ÒÀÚ Áß ¼öµ¿¼ÒÀÚ¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ¹°Ç°ÀÇ Á¾·ù¿Í °ü¼¼À²Ç¥ ÇØ¼³¼¿¡ ±ÔÁ¤µÈ ±× ¹°Ç°ÀÇ ¼³¸íÀº ¾Æ·¡¿Í °°´Ù.
(8) û±¸¹ýÀÎÀº IMC°¡ ÀÚ±âÀúÇ×ȸ·Î·Î¼ ȸ·Î¼ÒÀÚ¿¡ ÇØ´çÇϰí, À§ Á¦Á¶°øÁ¤°ú °°ÀÌ ÇϳªÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àç·á À§¿¡ IC Layer¿Í IMC°¡ Àϰý°øÁ¤¿¡ ÀÇÇØ Á¦Á¶µÇ¾î IMC°¡ º°µµ·Î IC¿¡ ºÎ°¡µÇ´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¹Ç·Î ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ °¢ ´ÙÀÌ´Â ¸ð³ë¸®½Ä IC¿¡ ÇØ´çÇÏ°í ¸ð³ë¸®½Ä IC 2°³·Î ±¸¼ºµÈ ÀïÁ¡¹°Ç°Àº º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ ÁýÀûȸ·Î¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù°í ÁÖÀåÇϳª, óºÐûÀº IMC´Â Àü±âÀûÀ¸·Î Àý¿¬µÇ¾î ÀÖ°í Àü°è°¡ ¾Æ´Ñ ÀÚ°è¿Í °ü·ÃµÈ ¹°Ç°À̹ǷΠȸ·Î¼ÒÀÚ¿¡ ÇØ´çÇÏÁö ¾Æ´ÏÇϰí, ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ ÀÇÇØ IMC°¡ Çü¼ºµÇ´õ¶óµµ ÀÌ¹Ì ¿Ï¼ºµÈ IC À§¿¡ Ãß°¡·Î Çü¼ºµÇ´Â °ÍÀ̹ǷΠÀÌ´Â °á°úÀûÀ¸·Î º°µµ ¼ÒÀÚ°¡ IC¿¡ ºÎ°¡µÇ´Â °ÍÀÌ¾î¼ °¢ ´ÙÀÌ´Â ¸ð³ë¸®½Ä IC·Î º¼ ¼ö ¾ø´Ù´Â ÀǰßÀÌ´Ù.
(9) °ü¼¼Æò°¡ºÐ·ù¿øÀåÀº 2014.12.9. °ü¼¼Ç°¸ñºÐ·ùÀ§¿øÈ¸ °áÁ¤¿¡ µû¶ó ǰ¸ñºÐ·ù3°ú-2663È£·Î ÀïÁ¡¹°Ç°°ú µ¿ÀÏÇÑ "OO"¿¡ ´ëÇÏ¿© 'IMC´Â ÁÖº¯ÀÇ ÀÚ¼Ó·®À» ¸ð¾ÆÁÖ´Â ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇÏ´Â NiFe ÀçÁúÀÇ ¹°Ç°À¸·Î¼ °ü¼¼À²Ç¥ Á¦8534È£¿¡¼ ¼³¸íÇϰí Àִ ȸ·Î¼ÒÀÚ°¡ ¾Æ´Ñ ±âŸ ±¸Á¶¹°À̰í, IMC °øÁ¤Àº Wafer Fab °øÁ¤À» ÅëÇØ ¿Ï¼ºµÈ ¸ð³ë¸®½Ä IC À§¿¡ NiFe ÀçÁúÀÇ ¿øÇü ´ÜÀÏ µð½ºÅ© ÇüÅÂÀÇ ¹°ÁúÀ» ±âŸ ±¸Á¶¹°·Î¼ º°°³ÀÇ ¹Ú¸·°øÁ¤¿¡ ÀÇÇØ ÁõÂøÇÏ´Â °ÍÀ̹ǷΠÀÌ´Â °ü¼¼À²Ç¥ Á¦8542È£¿¡¼ ±ÔÁ¤ÇÑ ÀüÀÚÁýÀûȸ·Î¿¡ ÇØ´çµÇÁö ¾Ê´Â´Ù'´Â ÀÌÀ¯·Î HSK Á¦9031.80-9099È£·Î ºÐ·ùÇÏ¿´°í, µ¿ÀÏÇÑ ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇϳª Ȧ ¼¾¼ IC¿¡ º°µµ·Î ¸»±Á Çü»óÀÇ Äܼ¾Æ®·¹ÀÌÅ͸¦ °áÇÕÇÑ ¹°Ç°µµ ±× ±â´É¿¡ µû¶ó HSK Á¦9031.80-9099È£·Î ºÐ·ùÇÏ¿´´Ù.
(10) °ü¼¼Ã»ÀÇ Ç°¸ñºÐ·ù¿Í °ü·ÃÇÏ¿© IMC ¶Ç´Â Äܼ¾Æ®·¹ÀÌÅͰ¡ ¾øÀ¸³ª µ¿ÀÏÇÑ ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇϴ Ȧ ¼¾¼ IC¿¡ ´ëÇÏ¿© 2004³âºÎÅÍ 2018³â±îÁö ¸ð³ë¸®½Ä IC·Î º¸¾Æ HS Á¦8542È£¿¡ ºÐ·ùÇÑ »ç·Ê°¡ ´Ù¼ö È®Àεǰí, IMC µîÀÌ °áÇյǾî ÀÖÁö ¾Æ´ÏÇϳª µ¿ÀÏÇÑ ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇϴ Ȧ ¼¾¼ IC¿¡ ´ëÇÏ¿© °ú¼¼°üûÀÌ 2016³â±îÁö 'HS Á¦85·ù¿¡ µû·Î ºÐ·ùµÇÁö ¾ÊÀº °ÍÀ¸·Î¼ °íÀ¯ÇÑ ±â´ÉÀ» °¡Áø ±âŸÀÇ Àü±â±â±â'·Î º¸¾Æ HS Á¦8543È£·Î ºÐ·ùÇÑ »ç·Êµµ ´Ù¼ö Á¸ÀçÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î È®ÀεȴÙ.
(11) ÀÌ»óÀÇ »ç½Ç°ü°è ¹× °ü·Ã ¹ý·É µîÀ» Á¾ÇÕÇÏ¿© »ìÇǰǴë, û±¸¹ýÀÎÀº ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ ´ÙÀ̴ Ȧ ¼¾¼ IC ºÎºÐ°ú IMC°¡ ÇϳªÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àç·á À§¿¡¼ CMOS ±â¼ú·Î Çü¼ºµÇ¾î ÇÑ µ¢¾î¸® »óÅ·ΠºÐ¸® ºÒ°¡´ÉÇϵµ·Ï °áÇյǾî ÀÖÀ¸¹Ç·Î ¸ð³ë¸®½Ä IC¿¡ ÇØ´çÇϰí, ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ¸ð³ë¸®½Ä IC¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ´ÙÀÌ 2°³·Î ÀÌ·ç¾îÁ® º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ IC¿¡ ÇØ´çÇϹǷΠHSK Á¦8542.39-3000È£¿¡ ºÐ·ùµÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù°í ÁÖÀåÇϳª, ǰ¸ñºÐ·ù¿¡ ÀÖ¾î Á¦8542È£´Â Á¦85·ù ÁÖ 8ÀÇ "ƯÈ÷ ±× ±â´ÉÀ¸·Î º¸¾Æ ÇØ´ç ¹°Ç°À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇØ¼®µÇ´Â ÀÌ Ç¥ÀÇ ´Ù¸¥ ¾î´À È£º¸´Ù ¿ì¼±ÇÑ´Ù"´Â ±ÔÁ¤¿¡ µû¶ó ÀÌ¿¡ ÇØ´çÇÏ´ÂÁö, Áï ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÌ º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ IC¿¡ ÇØ´çÇÏ´ÂÁö¸¦ ¸ÕÀú °ËÅäÇÏ¿©¾ß Çϴµ¥, º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ IC´Â 2°³ ÀÌ»óÀÇ ¸ð³ë¸®½Ä IC·Î ±¸¼ºµÇ¹Ç·Î °á±¹ ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ ´ÙÀ̰¡ ¸ð³ë¸®½Ä IC¿¡ ÇØ´çÇÏ´ÂÁö¸¦ ¿ì¼±ÀûÀ¸·Î °ËÅäÇÏ¿©¾ß ÇÒ °ÍÀιÙ, °ü¼¼À²Ç¥ Á¦85·ù ÁÖ 8 ³ª¸ñ¿¡¼ ±ÔÁ¤ÇÑ ¸ð³ë¸®½Ä ICÀÇ Á¤ÀǸ¦ °í·ÁÇϸé, ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ¸ð³ë¸®½Ä IC¿Í IMC°¡ °áÇÕµÈ ÇüÅ·Î, ±× ±¸¼ººÎºÐÀÎ IMC°¡ Àü±âÀûÀ¸·Î Àý¿¬µÇ¾î ÀÖ°í Àڱ⸦ ¸ð¾ÆÁÖ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇϹǷΠÀü°èÈ¿°ú¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º¿¡ ÇØ´çÇϰųª ICÀÇ È¸·Î¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â µµÃ¼¼ÒÀÚ¡¤Á¢¼ÓÀÚ³ª ´É¡¤¼öµ¿¼ÒÀÚ¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î º¸±â´Â ¾î·Á¿ö °á±¹ À̸¦ ¸ð³ë¸®½Ä IC¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù°í ´ÜÁ¤Çϱ⠾î·Á¿î Á¡, ±×·¸´Ù¸é ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ¸ð³ë¸®½Ä IC°¡ ¾Æ´Ñ ´ÙÀÌ 2°³·Î ÀÌ·ç¾îÁ® °á±¹ º¹ÇÕ±¸Á¶Ä¨ IC·Î º¼ ¼ö ¾ø°í ±× ±â´É¿¡ µû¶ó ÇØ´ç È£¿¡ ºÐ·ùÇÏ¿©¾ß ÇÒ °ÍÀε¥, ÀïÁ¡¹°Ç°Àº Ç¥¸é¿¡ Àΰ¡µÈ ÀÚ¼ÓÀÇ ¼¼±â¸¦ °¨ÁöÇÏ¿© ºñÁ¢ÃË ¹æ½ÄÀ¸·Î 360µµ Àý´ë °¢µµ¸¦ ÃøÁ¤Çϰí À̸¦ 0¿¡¼ 5º¼Æ® »çÀÌÀÇ ¾Æ³¯·Î±× Àü¾Ð°ª ³»Áö 0¿¡¼ 100% »çÀÌÀÇ µðÁöÅÐ º¯Á¶°ªÀ¸·Î Ãâ·ÂÇÏ´Â ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇϴ¹Ù, ÀÌ´Â ¹Ù·Î Á¦9031È£¿¡¼ ¸»ÇÏ´Â ÃøÁ¤±â´É¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀÌ´Â Á¡ µî¿¡ ºñÃß¾î °á±¹ ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÌ HSK Á¦9031.80-9099È£¿¡ ºÐ·ùµÈ´Ù°í º¸¾Æ û±¸¹ýÀÎÀÇ °æÁ¤Ã»±¸¸¦ °ÅºÎÇÑ Ã³ºÐÀº À߸øÀÌ ¾ø´Â °ÍÀ¸·Î ÆÇ´ÜµÈ´Ù.
4. °á·Ð ÀÌ °Ç ½ÉÆÇû±¸´Â ½É¸®°á°ú û±¸ÁÖÀåÀÌ ÀÌÀ¯ ¾øÀ¸¹Ç·Î ¡¸°ü¼¼¹ý¡¹Á¦131Á¶, ¡¸±¹¼¼±âº»¹ý¡¹ Á¦81Á¶ ¹× Á¦65Á¶ Á¦1Ç× Á¦2È£¿¡ ÀÇÇÏ¿© ÁÖ¹®°ú °°ÀÌ °áÁ¤ÇÑ´Ù. |
÷ºÎÆÄÀÏ |
|
µî·ÏÁ¤º¸ |
|
2020³â 12¿ù 22ÀÏ È¿äÀÏ
|
  |
|