¸ñÂ÷ |
°ü½É Á¦2002-019È£ |
2002-11-22 |
Liquid particle counter¸¦ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ëÀÇ ±âŸ ÃøÁ¤ ¶Ç´Â °Ë»ç¿ë ±â±â ¶Ç´Â ±¤¼±À» »ç¿ëÇÏ´Â ±âŸÀÇ ±â±â·Î º¼ °ÍÀÎÁö, ¾Æ´Ï¸é °¡½º ¶Ç´Â ¸Å¿¬ ºÐ¼®¿ë ±â±â·Î º¼ °ÍÀÎÁö ¿©ºÎ |
°ü½É Á¦2002-020È£ |
2002-11-22 |
Airborne Particle Counter¸¦ ±âŸÀÇ ÃøÁ¤ ¶Ç´Â °Ë»ç¿ë ±â±â·Î º¼ °ÍÀÎÁö, ¾Æ´Ï¸é °¡½º ¶Ç´Â ¸Å¿¬ ºÐ¼®¿ë ±â±â·Î º¼ °ÍÀÎÁö ¿©ºÎ¿Í ¼Ò±Þ°ú¼¼±ÝÁö¿øÄ¢¿¡ À§¹èµÇ´ÂÁö ¿©ºÎ |
°ü½É Á¦2002-069È£ |
2002-11-22 |
¼öÃâ¿ë¿øÀç·á·Î ¼öÀÔÇÑ ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ 50%¸¦ ±¹³»¿¡ ÆÇ¸ÅÇÏ¿´´ÂÁö ¿©ºÎ¿Í °æÁ¤°íÁöºÐÀÌ Áߺ¹µÇ´ÂÁö ¿©ºÎ |
°ü½É Á¦2002-071È£ |
2002-11-22 |
°ú¼¼°¡°ÝÀ» ´çÃÊ °è¾à¼»ó ÁöºÒÇϱâ·Î Çß´ø ´ë±ÝÀ¸·Î º¸¾Æ¾ß ÇÏ´ÂÁö, ¾Æ´Ï¸é ¼öÀԽŰíÇÑ ±Ý¾×À¸·Î º¸¾Æ¾ß ÇÏ´ÂÁö ¿©ºÎ |
°ü½É Á¦2002-077È£ |
2002-11-22 |
TRX Module(SDM±Ô°Ý)À» ±¤¼¶À¯ Àü¼Û½Ã½ºÅÛÀÇ ºÎºÐǰÀ¸·Î º¼ °ÍÀÎÁö, ¾Æ´Ï¸é ±âŸÀÇ ½ÅÈ£º¯È¯±â·Î º¼ °ÍÀÎÁö ¿©ºÎ |
°ü½É Á¦2002-093È£ |
2002-11-22 |
Àü±âÅë½Å¿ë Àý¿¬Àü¼±¡¤ÄÉÀ̺í·Î º¼ °ÍÀÎÁö ±âŸÀÇ Àý¿¬Àü¼±À¸·Î º¼°ÍÀÎÁö ¿©ºÎ |
°ü½É Á¦2002-094È£ |
2002-11-22 |
º¸¼¼°øÀå¿¡ ¹ÝÀÔÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë °¨±¤Á¦(Photo Resist) ¹× ±× ¿ë±â Áß ¿ë±â°¡ ȯ±Þ´ë»ó¿øÀç·á¿¡ ÇØ´çÇÏ´ÂÁö ¿©ºÎ |
°ü½É Á¦2002-034È£ |
2002-10-18 |
ÀïÁ¡¹°Ç°À» Àü±â´Ù¸®¹Ì ¿ÏÁ¦Ç° ¼¼¹øÀ¸·Î ºÐ·ùÇÒ °ÍÀÎÁö, ¾Æ´Ï¸é ºÎºÐǰ ¼¼¹øÀ¸·Î ºÐ·ùÇÒ °ÍÀÎÁö ¿©ºÎ |
°ü½É Á¦2002-048È£ |
2002-10-18 |
±â´É´ÜÀ§±â°è(functional unit)ÀÇ ÀϺημ HSK 8474.80-9000È£¿¡ ºÐ·ùµÉ ¼ö ÀÖ´ÂÁö ¿©ºÎ |
°ü½É Á¦2002-063È£ |
2002-10-18 |
óºÐûÀÇ °æÁ¤°ÅºÎóºÐ Ãë¼Ò |
°ü½É Á¦2002-090È£ |
2002-10-18 |
¾îºÐ(åàÝÑ)ÀÇ ºÎ°¡°¡Ä¡¼¼ ¸é¼¼¿©ºÎ |
°ü½É Á¦2002-015È£ |
2002-08-27 |
·¹ÀÌÀúÇÁ¸°ÅÍ¿ë toner cartridgeÀÇ Ç°¸ñºÐ·ù |
°ü½É Á¦2002-016È£ |
2002-08-27 |
·¹ÀÌÀúÇÁ¸°ÅÍ¿ë toner cartridgeÀÇ Ç°¸ñºÐ·ù |
°ü½É Á¦2002-033È£ |
2002-08-27 |
¼³Ä¡¹Ì¼úÀÛǰÀ¸·Î¼ ºÐ¸®Á¦½ÃµÈ TV, DVD Player, DVD DiskÀÇ Ç°¸ñºÐ·ù |
ÀûºÎ½É»ç Á¦2004-058È£ |
2005-02-02 |
ÀïÁ¡¹°Ç°¨çI/O Connector(1006-0024-312 ¿Ü)¿Í ÀïÁ¡¹°Ç°¨èBattery Connector(2002-9003-303 ¿Ü)ÀÇ Ç°¸ñºÐ·ù ´çºÎ ¹× ¼Ò±Þ°ú¼¼±ÝÁö¿øÄ¢ À§¹è ¿©ºÎ |
ÀûºÎ½É»ç Á¦2004-078È£ |
2005-02-02 |
Beverage of fruit juice ; Passion fruit nectarÀÇ Ç°¸ñºÐ·ù ´çºÎ |
ÀûºÎ½É»ç Á¦2004-039È£ |
2005-02-02 |
¿ë¼±¿îÀÓÀ» ÀÎÇÏÇÏ´Â Á¶°ÇÀ¸·Î ¼öÃâÀÚÃø ¼±»ç¿¡ ´ë½ÅÇÏ¿© ¼öÀÔÈÁÖ°¡ ¼öÀÔÇ× ¼±¹Ú´ë¸®Á¡¼ö¼ö·á¸¦ Áö±ÞÇÑ °æ¿ì, û±¸ÀÎÀÌ Áö±ÞÇÑ µ¿ ºñ¿ëÀÌ °ü¼¼¹ý Á¦30Á¶Á¦1Ç×Á¦6È£ÀÇ °ú¼¼°¡°Ý °¡»ê¿ä¼Ò¿¡ ÇØ´çÇÏ´ÂÁö ¿©ºÎ¿Í, ¿ë¼±°è¾à¿¡ ÀÇÇÑ Á¢¾ÈÇÏ¿ªÀÇ °æ¿ì, û±¸ÀÎÀÌ Áö±ÞÇÑ µµ¼±·á¡¤¿¹Àμ±·á µîÀÌ °ü¼¼¹ý Á¦30Á¶Á¦1Ç×Á¦6È£ÀÇ °ú¼¼°¡°Ý °¡»ê¿ä¼Ò¿¡ ÇØ´çÇÏ´ÂÁö ¿©ºÎ |
¢¸
151 152 153 154 155 156 157 158 159 160
¢º
|
|
|
ÆÇ·Ê∙¿¹±Ô |
Á¦ ¸ñ |
º¸¼¼°øÀå¿¡ ¹ÝÀÔÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë °¨±¤Á¦(Photo Resist) ¹× ±× ¿ë±â Áß ¿ë±â°¡ ȯ±Þ´ë»ó¿øÀç·á¿¡ ÇØ´çÇÏ´ÂÁö ¿©ºÎ |
±¸ ºÐ |
°ü½É Á¦2002-094È£ (°áÁ¤ÀÏÀÚ : 2002-11-22)¡¡ |
³» ¿ë |
[ÁÖ¹®] óºÐûÀÌ 2002. 6. 21. û±¸Àο¡°Ô °æÁ¤°íÁöÇÑ °ü¼¼ ¡Û¡Û¡Û¿ø, °¡»ê¼¼ ¡Û¡Û¡Û¿ø, ÇÕ°è ¡Û¡Û¡ÛÀº À̸¦ Ãë¼ÒÇÑ´Ù.
[ÀÌÀ¯]
1. óºÐ °æÀ§
(1) û±¸ÀÎÀº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë °¨±¤Á¦(Photo Resist)¸¦ º¸¼¼°øÀå¿¡ ¹ÝÀÔÇÑ ÈÄ, 2000. 6. 23.ºÎÅÍ 2002. 5. 13.±îÁö óºÐûÀ» ÅëÇÏ¿© ȯ±ÞÀ» ¹Þ¾Ò´Ù. (2) óºÐû¿¡¼ µ¿ °¨±¤Á¦ÀÇ ¿ë±âÀÎ Glass Bottle(ÀÌÇÏ "ÀïÁ¡¹°Ç°"À̶ó ÇÑ´Ù)¿¡ ´ëÇÑ È¯±Þ´ë»ó ¿©ºÎ ½É»ç °á°ú, ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ȯ±Þ´ë»óÀÌ ¾Æ´Ñ °ÍÀ¸·Î °áÁ¤Çϰí, 2002. 6. 21. °ü¼¼ ¡Û¡Û¡Û¿ø, °¡»ê¼¼ ¡Û¡Û¡Û¿ø, ÇÕ°è ¡Û¡Û¡Û¿øÀ» û±¸Àο¡°Ô °æÁ¤°íÁöÇÏ¿´´Ù. (3) û±¸ÀÎÀº ÀÌ¿¡ ºÒº¹ÇÏ¿© 2002. 8. 24. ½É»çû±¸¸¦ Á¦±âÇÏ¿´´Ù
2. û±¸ÀÎ ÁÖÀå
(1) óºÐûÀº ȯ±Þ´ë»ó ¼öÃâÀÇ ÀÎÁ¤ ¹üÀ§¸¦ ¼öÃâ¿ë¿øÀç·á·Î »ç¿ëµÉ ¸ñÀûÀ¸·Î °ø±ÞµÇ´Â °æ¿ì·Î ÇÑÁ¤ÇÏ¿© ÇØ¼®ÇÔÀ¸·Î½á, ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÌ ¼öÃ⹰ǰÀ» Çü¼ºÇϴµ¥ ¼Ò¿ëµÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù ÇÏ¿© ȯ±Þ´ë»ó¿øÀç·á°¡ ¾Æ´Ï¶ó°í ÇÏ¿´À¸³ª, ȯ±ÞƯ·Ê¹ý¿¡´Â ȯ±Þ´ë»ó¿øÀç·á¿¡ ´ëÇÏ¿© "¼öÀÔÇÑ »óÅ ±×´ë·Î ¼öÃâÇÑ °æ¿ì¿¡´Â ¼öÃ⹰ǰ"À̶ó°í ±ÔÁ¤Çϰí ÀÖ°í, ȯ±Þ´ë»ó ¼öÃâ¿¡ ´ëÇÏ¿© "°ü¼¼¹ý¿¡ ÀÇÇÑ º¸¼¼±¸¿ª Áß ÀçÁ¤°æÁ¦ºÎ·ÉÀÌ Á¤ÇÏ´Â ±¸¿ª¿¡ ´ëÇÑ °ø±Þ"À¸·Î ±ÔÁ¤Çϰí ÀÖ´Â ¹Ù, ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ¿Ü±¹À¸·ÎºÎÅÍ ¼öÀÔÇÏ¿© ¿ø»óÅ ±×´ë·ÎÀÇ ¿ë±â¿¡ ¼öÃâ¿ë¿øÀç·á¸¦ ´ã¾Æ Àü·® º¸¼¼°øÀå¿¡ °ø±ÞÇϹǷÎ, ȯ±Þ´ë»ó¼öÃâ ¹× È¯±Þ´ë»ó¿øÀç·áÀÇ ¿ä°ÇÀ» ÃæÁ·ÇÑ´Ù°í ÇÒ °ÍÀÎ ¹Ù, ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÌ È¯±Þ´ë»ó¿øÀç·áÀÓÀÌ ºÐ¸íÇÏ´Ù ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. (2) û±¸ÀÎÀº ÀïÁ¡¹°Ç°¿¡ ´ëÇÏ¿© 1996. 11¿ùºÎÅÍ ÇöÀç±îÁö °ü¼¼È¯±ÞÀ» ¹Þ¾Æ¿À¸é¼, °ø¾÷ÁøÈïûµîÀÇ °í½Ã¿¡ ÀÇÇÑ ±âÁؼҿ䷮ ¹× ÀÚÀ²¼Ò¿ä·® ½Å°í¿¡ ÀÇÇÏ¿© °ü¼¼È¯±Þ½ÅûÀ» ÇÏ¿´°í, óºÐûÀº À̸¦ ¹Þ¾Æµé¿© ȯ±Þ°áÁ¤À» ÇÏ¿´À¸¹Ç·Î, ÀÌ´Â °ü¼¼È¯±ÞÀÇ °üÇàÀÌ ³³¼¼ÀÚ¿¡°Ô ¹Þ¾Æµé¿©Á³´Ù°í º¸¾Æ¾ß Çϸç, ´Ü¼øÈ÷ ´ã´ç °ø¹«¿øÀÇ »ç¹«Âø¿À·Î º¸±â´Â ¾î·Á¿ì¹Ç·Î ³³¼¼ÀÚ¿¡°Ô Áß´ëÇÑ °ú½ÇÀÌ ¾øÀ½¿¡µµ ¼Ò±ÞÇÏ¿© Ãß¡ÇÏ´Â °ÍÀº ¼Ò±Þ°ú¼¼±ÝÁö¿øÄ¢¿¡ À§¹èµÇ´Â ºÎ´çÇÑ Ã³ºÐÀ̹ǷΠÃë¼ÒµÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù.
3. óºÐû Àǰß
(1) ȯ±Þ´ë»ó¹°Ç°Àº ȯ±ÞƯ·Ê¹ý¿¡¼ ±ÔÁ¤ÇÑ È¯±Þ´ë»ó ¼öÃâ ¹× È¯±Þ´ë»ó¿øÀç·áÀÇ ¿ä°ÇÀ» ÃæÁ·ÇÏ¿©¾ß ÇÏ´Â ¹Ù, ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ¼öÃâ¿ë¿øÀç·á·Î »ç¿ëµÉ ¸ñÀûÀ¸·Î º¸¼¼°øÀå¿¡ ¹ÝÀԵǴ ¹°Ç°ÀÌ ¾Æ´Ï¸ç, ¼öÃâ¿ë¿øÀç·á·Î »ç¿ëµÉ ¸ñÀûÀ¸·Î º¸¼¼°øÀå¿¡ °ø±ÞµÇ¾î º¸¼¼ÀÛ¾÷À» ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿øÀç·á´Â, ¨çÁ¦Á¶¡¤°¡°øÇÏ´Â ¹°Ç°À» Á÷Á¢ Çü¼ºÇÏ´Â ¿øÀç·á(Æ÷ÀåÀç Æ÷ÇÔ)¿Í ¨èÁ¦Á¶¡¤°¡°ø¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â ¼Ò¸ð¿ë º¸Á¶¿øÀç·á·Î ÇÑÁ¤Çϰí ÀÖÀ¸¹Ç·Î, °¨±¤Á¦ ¿ë±âÀÎ ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ¼öÃâ¿ë¿øÀç·á·Î °ø±ÞµÇ´Â °æ¿ì¿¡ ÇØ´çµÇÁö ¾ÊÀ¸¸ç, ¶ÇÇÑ º¸¼¼°øÀå¿¡ ¹ÝÀÔÇÏ¿© º¸¼¼ÀÛ¾÷À» ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿øÀç·á¿¡ ÇØ´çµÇÁö ¾ÊÀ¸¹Ç·Î ȯ±Þ´ë»ó¿øÀç·á°¡ ¾Æ´Ñ °ÍÀÌ´Ù. (2) û±¸ÀÎÀº 1996. 11¿ùºÎÅÍ °ü¼¼È¯±ÞÀ» ¹Þ¾Æ¿Â »ç½ÇÀ» ÀÌÀ¯·Î ½ÅÀǼº½Ç ¹× ¼Ò±Þ°ú¼¼±ÝÁö¿øÄ¢À» À§¹èÇÏ¿´´Ù°í ÁÖÀåÇϳª, º¸¼¼°øÀå¿¡ ¹ÝÀԵǴ ¿î¹Ý¿ë±â¸¦ ¼öÃâ¿ë¿øÀç·á·Î ÀÎÁ¤ÇÑ °ü¼¼Ã»ÀÇ ¸í½ÃÀûÀÎ ÀÇ»çÇ¥½Ã°¡ ¾ø¾úÀ½Àº ¹°·Ð ȯ±ÞƯ·Ê¹ý¿¡ ÀÇÇÑ °ü¼¼È¯±Þ °áÁ¤ °üÇàÀÌ Ã»±¸ÀÎ¿Ü ´Ù¸¥ ȯ±Þ½ÅûÀο¡°Ôµµ ¹Þ¾Æµé¿©Á³´Ù°í ÀÎÁ¤ÇÒ¸¸ÇÑ »ó´çÇÑ ÀÌÀ¯°¡ ¾øÀ¸¹Ç·Î ÀÌ °Ç °æÁ¤Ã³ºÐÀÌ ½ÅÀǼº½Ç ¹× ¼Ò±Þ°ú¼¼±ÝÁö¿øÄ¢À» À§¹èÇÏ¿´´Ù´Â û±¸ÀÎÀÇ ÁÖÀåÀº Ÿ´çÇÏÁö ¾Ê´Ù.
4. Àï Á¡
°¡. ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÌ È¯±Þ´ë»ó¿øÀç·á¿¡ ÇØ´çÇÏ´ÂÁö ¿©ºÎ¿Í ³ª. ÀÌ °Ç °æÁ¤°íÁö°¡ ¼Ò±Þ°ú¼¼±ÝÁö¿øÄ¢¿¡ À§¹èµÇ´ÂÁö ¿©ºÎ¸¦ °¡¸®´Âµ¥ ÀÖ´Ù.
5. ½É¸® ¹× ÆÇ´Ü
°¡. °ü·Ã±ÔÁ¤
(1) ȯ±ÞƯ·Ê¹ý Á¦3Á¶(ȯ±Þ´ë»ó ¿øÀç·á) ¨ç °ü¼¼µîÀÇ È¯±ÞÀ» ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Â ¿øÀç·á´Â ´ÙÀ½ °¢È£ÀÇ 1¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇÑ´Ù. 1. ¼öÃ⹰ǰÀ» »ý»êÇÑ °æ¿ì¿¡´Â »ý»ê½ÃÀÇ ¹°¸®Àû¡¤ÈÇÐÀû º¯È°úÁ¤¿¡¼ ´çÇØ ¼öÃ⹰ǰ¿¡ ¹°¸®ÀûÀ¸·Î °áÇյǰųª ÈÇÐÀû ¹ÝÀÀµîÀ¸·Î ¼öÃ⹰ǰÀ» Çü¼ºÇϴµ¥ ¼Ò¿äµÇ´Â ¿øÀç·á 2. ¼öÀÔÇÑ »óÅ ±×´ë·Î ¼öÃâÇÑ °æ¿ì¿¡´Â ¼öÃ⹰ǰ (2) ȯ±ÞƯ·Ê¹ý Á¦4Á¶(ȯ±Þ´ë»ó ¼öÃâµî) ¨ç ¼öÃâ¿ë¿øÀç·á¿¡ ´ëÇÑ °ü¼¼µîÀ» ȯ±Þ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Â ¼öÃâµîÀº ´ÙÀ½ °¢È£ÀÇ 1¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇÑ´Ù 3. °ü¼¼¹ý¿¡ ÀÇÇÑ º¸¼¼±¸¿ªÁß ÃѸ®·ÉÀÌ Á¤ÇÏ´Â ±¸¿ª ¶Ç´Â ¼öÃâÀÚÀ¯Áö¿ª¼³Ä¡¹ý¿¡ ÀÇÇÑ ¼öÃâÀÚÀ¯Áö¿ª¾ÈÀÇ ÀÔÁÖ±â¾÷ü¿¡ ´ëÇÑ °ø±Þ (3) ȯ±ÞƯ·Ê¹ý½ÃÇà±ÔÄ¢ Á¦2Á¶(ȯ±Þ´ë»ó ¼öÃâµî) Á¦3Ç× 2. °ü¼¼¹ý Á¦185Á¶ÀÇ ±ÔÁ¤¿¡ ÀÇÇÑ º¸¼¼°øÀå. ´Ù¸¸, ¼öÃâ¿ë¿øÀç·á·Î »ç¿ëµÉ ¸ñÀûÀ¸·Î °ø±ÞµÇ´Â °æ¿ì¿¡ ÇÑÇÑ´Ù
³ª. ÆÇ ´Ü
(1) °ü·Ã ÀÚ·á¿¡ ÀÇÇϸé, ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë °¨±¤¾×(Photo Resist)À» ´ã¾Æ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê º¸¼¼°øÀå¿¡ °ø±ÞÇÏ´Â 1ȸ¼º ¿ë±âÀ̸ç, Photo Resist´Â ¹ÝµµÃ¼ ¶Ç´Â µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶ µî°ú °°Àº ¹Ì¼¼°¡°ø °øÁ¤¿¡¼ ±â°èÀûÀ¸·Î ±¸ÇöÇÒ ¼ö ¾ø´Â Å©±âÀÇ Çü»óÀ» ±¤ÇйÝÀÀÀ» ÅëÇØ ±¸ÇöÇÏ°í ±× ±¸ÇöµÈ Çü»óÀ» ÇϺΠ¸·À¸·Î Àü»çÇÏ´Â ¹°Áú·Î¼, ÃÖ¼Ò 0.1§ ÀÌÇÏÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ ¼±ÆøÀÇ È¸·Î¸¦ ±¸ÇöÇØ¾ß ÇϹǷΠÅë»óÀÇ »ê¾÷¿ë ÈÇÐÁ¦Ç°µé°ú´Â ´Þ¸® ³ôÀº ¼øµµ¿Í ûÁ¤µµ°¡ ¿ä±¸µÇ´Â ¹°ÁúÀ̸ç, ÀÌ¿Í °°Àº ºÒ¼ø¹°·Î ÀÎÇÑ ¹®Á¦¸¦ ¿¹¹æÇϱâ À§ÇÏ¿© Æ÷Àå¿ë±âÀÎ ÀïÁ¡¹°Ç° ¿ª½Ã ÀÌ¿¡ ÁØÇÏ´Â °í¼øµµ ¹× °íûÁ¤µµ¸¦ ¿ä±¸Çϰí ÀÖ´Ù. µû¶ó¼ ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ¹Ì¼¼ÇÑ ¸ÕÁöµîÀÇ ¿À¿°À» ¹æÁöÇϱâ À§ÇÏ¿© ûÁ¤±¸¿ª¿¡¼ Á¦Á¶µÇ°í °ü¸®µÇ¸ç, Çѹø »ç¿ëÇϸé ÀïÁ¡¹°Ç° ³»¿¡ °¨±¤¾×ÀÌ ±»¾îÀÖ¾î Çѹø »ç¿ëÇÑ ¿ë±â´Â ÀçȰ¿ëÇÏÁö ¸øÇÏ°í Æó±âóºÐÇϸç, ±¹³» »ý»ê¾÷ü´Â ¾ø°í Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸Çϰí ÀÖ´Â ½ÇÁ¤ÀÓÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. (2) ȯ±ÞƯ·Ê¹ý½ÃÇà±ÔÄ¢ Á¦2Á¶ Á¦3Ç× 2È£¿¡´Â ȯ±Þ´ë»ó¼öÃâÀÇ ¹üÀ§¿¡ º¸¼¼°øÀå¿¡ ¼öÃâ¿ë¿øÀç·á·Î »ç¿ëµÉ ¸ñÀûÀ¸·Î °ø±ÞÇÏ´Â ¹°Ç°À» Æ÷ÇÔÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ ³»¿ë¹°ÀÎ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë °¨±¤¾×(Photo Resist)ÀÌ º¸¼¼°øÀå¿¡¼ ¼öÃ⹰ǰÀ» Á¦Á¶Çϴµ¥ »ç¿ëµÇ´Â ¿øÀç·á¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù´Â Á¡¿¡ ´ëÇÏ¿©´Â û±¸Àΰú óºÐû °£¿¡ À̰ßÀÌ ¾ø´Ù ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. ±×·¸´Ù¸é ³»¿ë¹°ÀÎ °¨±¤¾×°ú Æ÷Àå¿ë±âÀÎ ÀïÁ¡¹°Ç°À» ºÐ¸®ÇÏ¿© Ãë±ÞÇÒ °ÍÀÎÁö ¾Æ´Ï¸é ÀÏüÀÇ ¹°Ç°À¸·Î º¼ °ÍÀÎÁö°¡ ÀÌ °Ç û±¸ÀÇ ÁÖ¿ä ÀïÁ¡À̶ó ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î ³»¿ë¹°°ú ÇÔ²² Á¦½ÃµÇ´Â Æ÷Àå¿ë±â´Â ±× ³»¿ë¹°°ú ÇÔ²² Ãë±ÞÇϳª ±× Æ÷Àå¿ë±â°¡ °Å·¡ °üÇà»ó ºÐ¸® Ãë±ÞµÇ°í, ¸í¹éÈ÷ ¹Ýº¹ »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀÎ ¶§¿¡´Â ³»¿ë¹°°ú µû·Î ºÐ¸®ÇÏ¿© Ãë±ÞÇϰí ÀÖ´Ù. ÀÌ °Ç ÀïÁ¡¹°Ç°Àº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â °¨±¤¾×À» º¸°ü, ¿î¼ÛÇϴµ¥ Àü¿ëµÇµµ·Ï Á¦À۵ǾúÀ¸¸ç, Çѹø »ç¿ëÇÏ¸é Æó±âÇÏ´Â °ÍÀÓÀÌ È®ÀεǾúÀ¸¹Ç·Î, ÀïÁ¡¹°Ç°Àº °¨±¤¾×(Photo Resist)°ú ÀÏüÀÇ ¹°Ç°À¸·Î Ãë±ÞÇÏ¿©¾ß ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. (3) µû¶ó¼ ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë º¸¼¼°øÀå ¹ÝÀÔÀº ȯ±Þ´ë»ó ¼öÃâ·Î º¸¾Æ ȯ±Þ´ë»ó¹°Ç°À¸·Î ÀÎÁ¤ÇÏ´Â °ÍÀÌ Å¸´çÇϸç, ÀïÁ¡¹°Ç°ÀÌ È¯±Þ´ë»ó¿øÀç·á°¡ ¾Æ´ÔÀ» ÀÌÀ¯·Î óºÐû¿¡¼ °æÁ¤°íÁöÇÑ Ã³ºÐÀº ºÎ´çÇÏ´Ù°í ÇÒ °ÍÀÌ´Ù.
´Ù. °á·Ð
µû¶ó¼, û±¸ÀÎÀÇ ÁÖÀå¿¡ ÀÌÀ¯°¡ ÀÖÀ¸¹Ç·Î °ü¼¼¹ý Á¦128Á¶Á¦1Ç×ÀÇ ±ÔÁ¤¿¡ ÀǰŠÁÖ¹®°ú °°ÀÌ °áÁ¤ÇÑ´Ù. |
÷ºÎÆÄÀÏ |
|
µî·ÏÁ¤º¸ |
|
2005³â 4¿ù 3ÀÏ ÀÏ¿äÀÏ
|
  |
|